研究課題
挑戦的萌芽研究
ナノ機械振動子の材料の一つとしてグラフェンに注目した.グラフェン機械振動子のQ値(エネルギ散逸の逆数)の向上を目指して,支持構造にSU-8を使用し,これをアニールすることによって歪印加が可能なグラフェン振動子作製法を提案した.この方法で作製したグラフェン振動子の室温でのQ値が7000を超えることを確認した.Q値向上の要因を支持条件の改善,歪印加による熱弾性ダンピングの低下,並びに量子的観点から考察した.
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Appl. Phys. Express
巻: 5 ページ: 117201
DOI:10.1143/APEX.5.117201.
J. Photopolym. Sci. Technol.
巻: 25 ページ: 37
DOI:10.2494/photopolymer.25.37.
J. Vac. Sci. Technol. B
巻: 29 ページ: 06FG04
DOI:10.1116/1.3655581