過熱蒸気・水プラズマジェットによる 「限りなく透明な導電膜」創製プロセスの構築

2012 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 22656139
• 研究種目: 挑戦的萌芽研究
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 金属物性
• 研究機関: 東京理科大学
• 研究代表者: 石黒 孝 東京理科大学, 基礎工学部, 教授 (10183162)
• 研究期間 (年度): 2010 – 2012
• キーワード: 過熱蒸気 / 水熱反応 / 水プラズマ / 大気圧プラズマ / 透明導電膜 / 膜改質

研究概要

過熱蒸気、大気圧水プラズマによる金属膜の水酸化膜、酸化膜への改質プロセスについて検討した.過熱蒸気処理は水酸化物膜の脱水、酸化反応に有効であった.大気圧プラズマではプルーム型プラズマ掃引により表面に限定された一様な改質を実現できた.また Zn-Mg 膜の水熱反応では透明導電膜を実現できることがわかった.そして、液体の水を用いた水熱反応による金属膜改質とその後の過熱蒸気、水プラズマによる改質の特徴を生かして使い分けることが可能であることがわかった

研究成果

• [雑誌論文] Formation of Anti-Reflection Coating by Hydrothermal Treatment of Aluminum Films and Their Stabilization by Dehydration
  • 著者名/発表者名: Aki Egashira, Takuji Ube, Yusuke Hosoki, Takashi Harumoto and Takashi Ishiguro
  • 雑誌名: MATERIALS TRANSACTIONS
  • DOI: DOI:10.2320/matertrans.M2013026
  • 査読あり
• [学会発表] Fe, Co, Ni遷移金属膜の高温高圧水熱反応 (2013)
  • 著者名/発表者名: 冨永知宏、石塚徹、春本高志、石黒孝
  • 学会等名: 2013年日本金属学会春期大会
  • 発表場所: 東京理科大学(神楽坂キャンパス)
  • 年月日: 20130327-0329
• [学会発表] メゾスコピック凹凸アルミナ表面形成によるガラスの高透過率化 (2013)
  • 著者名/発表者名: 阿曽亮介、春本高志、石黒孝
  • 学会等名: 2013年日本金属学会春期大会
  • 発表場所: 東京理科大学(神楽坂キャンパス)
  • 年月日: 20130327-0329
• [学会発表] 水中FT-IR 測定と第一原理計算による水中分子の振動状態可視化技術 (2013)
  • 著者名/発表者名: 宇部卓司, 石塚徹, 渡邊雅之, 春本高志, 石黒孝
  • 学会等名: 2013 Biomedical Interface Workshop
  • 発表場所: 沖縄県宮古島マリンターミナル
  • 年月日: 20130320-0323
• [学会発表] 水・酸素 大気圧プラズマによる金属膜改質 (2012)
  • 著者名/発表者名: 江頭亜紀, 北野勝久, 宇部卓司, 佐藤和裕, 春本高志, 石黒孝
  • 学会等名: 2012年日本金属学会秋期(第151回)大会
  • 発表場所: 愛媛大学
  • 年月日: 20120917-0919
• [学会発表] 過冷却水中Mg水和反応その場・透過赤外吸収スペクトル測定 (2012)
  • 著者名/発表者名: 宇部卓司, 佐藤和裕, 春本高志, 石黒孝
  • 学会等名: 2012年日本金属学会秋期(第151回)大会
  • 発表場所: 愛媛大学
  • 年月日: 20120917-0919
• [学会発表] Mg膜の低温水による膜改質 (2012)
  • 著者名/発表者名: 佐藤和裕, 宇部卓司, 春本高志, 石黒孝
  • 学会等名: 2012年日本金属学会秋期(第151回)大会
  • 発表場所: 愛媛大学
  • 年月日: 20120917-0919
• [学会発表] In-situ Infrared Spectroscopic Study of Hydrogen Bonds in Supercritical Water and Methanol (2012)
  • 著者名/発表者名: Takuji Ube, Takashi Harumoto, and Takashi Ishiguro
  • 学会等名: 2012 TAIWAN-JAPAN SYMPOSIUM ON POLYSCALE TECHNOLOGIES FOR BIOMEDICAL ENGINEERING AND ENVIRONMENTAL SCIENCES (PT-BMES 2012)
  • 発表場所: National Tsing Hua University, Hsinchu, Taiwan
  • 年月日: 2012-09-05
• [学会発表] Transmission FT-IR Spectroscopy of ATP-Mg Complex in Aqueous Solution (2012)
  • 著者名/発表者名: Masayuki Watanabe, Takuji Ube, Koji Tamura, Shin Aoki, Takashi Harumoto, and Takashi Ishiguro
  • 学会等名: 2012 TAIWAN-JAPAN SYMPOSIUM ON POLYSCALE TECHNOLOGIES FOR BIOMEDICAL ENGINEERING AND ENVIRONMENTAL SCIENCES (PT-BMES 2012)
  • 発表場所: National Tsing Hua University, Hsinchu, Taiwan
  • 年月日: 2012-09-05
• [学会発表] 水中における赤外分光のためのシリコンスペーサーの開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 坂本良介、宇部卓司、石黒孝、早瀬仁則
  • 学会等名: 東京理科大学 総合研究機構 がん医療基盤科学技術研究センター 第二回CTCワークショップ
  • 発表場所: 東京理科大学
  • 年月日: 2012-04-28
• [学会発表] In-situ Infrared Spectroscopy of Reaction between Aluminum Thin Film and Ultrapure Water (2011)
  • 著者名/発表者名: Takuji Ube and Takashi Ishiguro
  • 学会等名: 12th International Union of Materials Reserch Societies International Conference in Asia 2011
  • 発表場所: Taipei World TradeCenter Nangang Exhibition Hall, Taiwan
  • 年月日: 20110919-0922
• [学会発表] Formation of Antireflection Coating by Hydrothermal Treatment of Al Films (2011)
  • 著者名/発表者名: Aki Egashira, Takuji Ube, and Takashi Ishiguro
  • 学会等名: 12th International Union of Materials Reserch Societies International Conference in Asia 2011
  • 発表場所: Taipei World TradeCenter Nangang Exhibition Hall, Taiwan
  • 年月日: 20110919-0922
• [学会発表] Antireflection Coating of γ-alumina with Gradient-refractive Index Structure (2011)
  • 著者名/発表者名: Yusyke Hosoki, Takuji Ube, and Takashi Ishiguro
  • 学会等名: ISES Solar World Congress 2011
  • 発表場所: Congress Palais in Kassel, Germany
  • 年月日: 20110828-0902
• [学会発表] DLC-coated Substrate for Infrared Absorption Spectroscopy in Supercritical Water (2010)
  • 著者名/発表者名: Takuji Ube and Takashi Ishiguro
  • 学会等名: Materials Research Society Fall Meeting 2010
  • 発表場所: Boston, MA USA
  • 年月日: 20101129-1203
• [学会発表] 超臨界水の赤外吸収スペクトル測定及び可視光・その場観察. (2010)
  • 著者名/発表者名: 宇部卓司、石黒 孝
  • 学会等名: 2010年日本金属学会秋期大会
  • 発表場所: 北海道大学
  • 年月日: 20100928-0927
• [学会発表] In-situ FT-IR Spectroscopy of Water and Adenosine Triphosphate Solution (2010)
  • 著者名/発表者名: Takuji Ube, Marina Kamogawa, and Takashi Ishiguro
  • 学会等名: 2010 Taiwan-Japan Symposium on Polyscale Technologies for Biomedical Engineering and Environmental Science
  • 発表場所: National Tsing University(Hsinchu・Taiwan)
  • 年月日: 20100909-0910