| 研究概要 |
本研究では, Heガス中でエアロゾル化した金属あるいはセラミック超微粒子を加速・集束し,それをレーザで選択的に堆積・焼結してマイクロ構造物を作成する技術およびレーザCVDによるセラミック微粒子の生成プロセスに関する基礎的検討を行った.最初に、超微粒子流-レーザ光同軸ノズルを用いたマイクロレーザ逐次焼結プロセスにより直径が数10μmで高さが数mmの高アスペクト比堆積物を製作できることを示した.さらに,レーザCVDプロセスにより,気化させた金属アルコキシドガスへの炭酸ガスレーザ照射により酸化チタン球状微粒子を生成できることを確認した.
|
