|
回転楕円型X線集光ミラーは、X線を色収差なく、高効率に集光可能であることから、様々なX線分析技術の性能向上に寄与する。しかしながら、必要な形状精度が高いこと、形状が非球面形状であることから、実用に供するミラーは実現していない。本研究では、高精度回転楕円型X線ミラー作製のための形状加工、形状転写、形状計測システムの開発を目指している。
平成24年度の研究項目（1）の軟X線集光ミラーの作製では、EEMによるマンドレル作製システム、スルファミン酸ニッケル溶液による常温電鋳装置による回転体ミラー作製プロセスを完成させた。そして、実際に50nm(P-V)レベルの精度を有するマンドレルを作製し、常温電鋳により、回転体ミラーの作製を行った。その結果、1μmレベルの形状精度を有する回転楕円型ミラーを作製した。（2）の軟X線用ミラーの評価では、回転楕円型集光ミラーの必要精度に関して、波動光学シミュレータ、光線追跡シミュレータを開発し、定量的に形状誤差、アライメント誤差の集光特性への関係を明らかにした。上記、計算結果を元に、回転楕円型ミラーを用いた集光システムのアライメント装置の設計をおこなった。He-Neレーザー光源を用いた位相回復法による集光波面計測システムを完成させた。タイコグラフィー位相回復エンジンを導入と高精度ダイヤモンドナイフエッジの使用により、λ/100の再現性、λ/200の絶対波面精度で集光波面の計測が可能であることを明らかにした。
|
