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2011 年度 実績報告書

低炭素消費型社会に貢献するマイクロ・ナノスマート電荷センサの開発

研究課題

研究課題/領域番号 22686030
研究機関東京大学

研究代表者

熊田 亜紀子  東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教授 (20313009)

キーワード電気機器 / 低炭素社会 / 電荷センサ
研究概要

昨年度に完成させた1ns以下の時間分解能、3mmの空間分解能をもった電気光学センサを用いて沿面放電進展時の空間電荷分布を測定した。測定は、放電のエネルギー(放電電圧、放電電流)、誘電体の固有容量、ガス種(SF6,空気、N2)を変化させた種々の条件下で行った。沿面ストリーマ進展時及び、ストリーマからリーダに転換に至る時点における電荷分布、発光分布に焦点を当て計測を行った。平行して、流体モデルによるストリーマ放電進展シミュレーションを行い、測定結果と比較することでシミュレーションの妥当性の検証を行った。本シミュレーションモデルで、今まで明らかでなかったストリーマ進展、停止機構がよく説明できることができた。
平行して、アレイ型静電容量型表面電位プローブと、その信号出力を取り出す集積回路(以下、信号変換集積回路と略記)とを一体構造で作成したチップセンサ(以下、空間電荷分布計測MEMSセンサと略記)のプロトタイプを試作し周辺電源回路の設計、組み立てを行った。その結果、プロトタイプは耐電圧が当初の設計よりも低く、放電直接測定が難しいことがわかった。次年度においては、空間電荷分布計測MEMSセンサの改良設計・試作を行言う予定である。
空間電荷分布計測MEMSセンサの耐圧を測定と平行して、マイクロメータスケールの沿面ギャップにおける大気圧空気中沿面放電現象の測定を行った。その結果、マイクロメータスケールの沿面ギャップにおいては、ギャップ距離が、電子の平均自由行程以下となり、真空中の放電に近い特性を示すことを示唆する知見が得られた。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

当初の開発項目である(1)電気光学センサの開発及び(2)沿面放電進展機構の解明という点については、当初の計画以上に進展しているが、(3)空間電荷分布計測MEMSセンサの開発については、試作機の耐圧が設計値より低いなど予期せぬ支障があり、やや進展が遅れているため、研究全体でみれば、「おおむね順調」に進展していると考えられる。

今後の研究の推進方策

前年度までにおいて、沿面放電進展時の変化をとらえられるだけの時間分解能(1ns以下)を持った測定システム、及び放電内部の様子を探ることができる空間分解能(3ミクロン)を持った電気光学センサを開発してきた。引き続き、本システムを用いて各種環境下における沿面放電の空間電荷微細構造を測定する。平行して、サブミクロンオーダに空間分解能が達する電荷分布MEMSセンサの開発、マイクロギャップの沿面放電現象の測定を行う。

  • 研究成果

    (8件)

すべて 2011

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 5件) 学会発表 (3件)

  • [雑誌論文] 小電流アーク内の電子密度計測に向けたシャックハルトマン型レーザ波面測定装置の開発2011

    • 著者名/発表者名
      稲田優貴, 松本洋和, 松岡成居, 熊田亜紀子, 池田久利, 日高邦彦
    • 雑誌名

      電気学会論文誌A(基礎・材料・共通部門誌)

      巻: 131 ページ: 872-877

    • DOI

      doi:10.1541/ieejfms.131.872

    • 査読あり
  • [雑誌論文] CF3Iガスの放電による副生成物の発生と絶縁特性への影響2011

    • 著者名/発表者名
      武田敏信, 松岡成居, 熊田亜紀子, 日高邦彦
    • 雑誌名

      電気学会論文誌B(電力・エネルギー部門誌

      巻: 131 ページ: 859-864

    • DOI

      doi:10.1541/ieejpes.131.859

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Light emission phenomena in dechlorination process of polychlorinated biphenyls by irradiating microwave2011

    • 著者名/発表者名
      A.Kumada, T.Morimoto, K.Hidaka, K.Amano, K.Itoh
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 99,131503

    • DOI

      doi:10.1063/1.3644133

    • 査読あり
  • [雑誌論文] 体積及び表面抵抗を含む場の高精度電荷重畳法による電界計算2011

    • 著者名/発表者名
      岩渕大行, 道念大樹, 熊田亜紀子, 日高邦彦
    • 雑誌名

      電気学会論文誌B(電力・エネルギー部門誌)

      巻: 131 ページ: 717-718

    • DOI

      doi:10.1541/ieejpes.131.717

    • 査読あり
  • [雑誌論文] 直流電界下におけるGISスペーサ帯電特性に及ぼす表面導電率分布の影響2011

    • 著者名/発表者名
      道念大樹, 岩渕大行, 松岡成居, 熊田亜紀子, 日高邦彦, 武井雅文, 保科好一
    • 雑誌名

      電気学会論文誌B(電力・エネルギー部門誌)

      巻: 131 ページ: 584-590

    • DOI

      doi:10.1541/ieejpes.131.584

    • 査読あり
  • [学会発表] 電気光学センサによる高電圧・放電現象の計測2011

    • 著者名/発表者名
      熊田亜紀子
    • 学会等名
      平成23年放電学会若手セミナー
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2011-11-25
  • [学会発表] 電荷重畳法による数値電界計算の高度化-表面抵抗や体積抵抗を含む場への適用2011

    • 著者名/発表者名
      熊田亜紀子
    • 学会等名
      2011年放電学会シンポジウム
    • 発表場所
      東京(招待講演)
    • 年月日
      2011-10-26
  • [学会発表] Directly high voltage measuring system based on Pockels effect2011

    • 著者名/発表者名
      A.Kumada, K.Hidaka
    • 学会等名
      17th International Symposium on High Voltage Engineering
    • 発表場所
      ドイツ、ハノーファー(招待講演)
    • 年月日
      2011-08-24

URL: 

公開日: 2013-06-26  

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