2011 年度研究成果報告書

カーボンナノチューブ2重量子ドットを用いた室温高感度テラヘルツ検出素子の開発

研究課題

研究課題/領域番号	22710133
研究種目	若手研究(B)
配分区分	補助金
研究分野	マイクロ・ナノデバイス
研究機関	独立行政法人理化学研究所
研究代表者	森本崇宏独立行政法人理化学研究所, 石橋極微デバイス工学研究室, 協力研究員 (30525895)
研究期間 (年度)	2010 – 2011
キーワード	CNT / 2重量子ドット / テラヘルツ検出 / 高温動作
研究概要	本研究課題は、従来困難であったTHz波の高温・高感度動作を実現するために、カーボンナノチューブ2重量子ドットを用い、そのトンネル障壁を精密制御することで高温・高感度動作を目指すものである。2重量子ドットのトンネル障壁は、ALD法を用いたHfO_2の単原子層制御によるソースドレイン障壁作成と、電子線照射ドーズ量制御を用いたドット間結合障壁作成により行い、THz照射下における低温伝導特性評価を行った。また、ALD被膜DWCNT-FETの両極性伝導についても詳しい特性を明らかにした。

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