次世代省エネルギー半導体用高強度パルス金属イオンビーム発生とイオン注入への応用

2011 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 22740360
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: プラズマ科学
• 研究機関: 富山大学
• 研究代表者: 伊藤 弘昭 富山大学, 理工学研究部(工学), 准教授 (70302445)
• 研究期間 (年度): 2010 – 2011
• キーワード: パルス重イオンビーム / 金属イオンビーム / 真空アークプラズマガン / パルスパワー技術 / パルスイオン注入

研究概要

次世代省エネルギー用半導体材料への新しいイオン注入技術であるパルスイオン注入法の実現に向け、本研究では真空アーク放電を利用した同軸プラズマガンイオン源を用いたp型ドーパント用のパルスアルミニウムイオンビーム発生技術の開発を行い、アルミニウムの比率が89%という従来技術よりも高純度のパルスアルミニウムイオンビームを得ることができた。さらに、アモルファスシリコン薄膜にイオンビームを照射した結果、アモルファス薄膜が多結晶化しており、パルスイオンビームによる照射効果を確認できた。

研究成果

• [雑誌論文] Masugata, Development of Exploding Wire Ion Source for Intense Pulsed Heavy Ion Beam Accelerator Radiation Effects and Defects in Solids (2012)
  • 著者名/発表者名: H. Ito, Y. Ochiai, T. Murata, K.
  • 巻: 167
  • 査読あり
• [雑誌論文] Development of High-current Pulsed Heavy-ion-beam Technology for Applications to Materials Processing (2011)
  • 著者名/発表者名: H. Ito, Y. Ochiai, K. Masugata
  • 雑誌名: Journal of the Korean Physical Society 巻: 59 ページ: 3652-3656
  • 査読あり
• [雑誌論文] Development of Bipolar Pulse Accelerator for High-Purity Intense Pulsed Ion Beam (2011)
  • 著者名/発表者名: H. Ito, J. Takabe, K. Masugata
  • 雑誌名: Research Report NIFS-PROC 巻: 87 ページ: 98-103
• [雑誌論文] Intense pulsed heavy ion beam technology (2010)
  • 著者名/発表者名: K. Masugata, H. Ito
  • 雑誌名: IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials 巻: 130 ページ: 879-884
  • 査読あり
• [雑誌論文] Masugata, Generation of Intense Pulsed Ion Beam and Its Application to Materials Processing (2010)
  • 著者名/発表者名: Y. Ochiai, K. Fujikawa, H. Ito, K.
  • 雑誌名: Research Report NIFS-PROC 巻: 82 ページ: 48-54
• [学会発表] プラズマフォーカス装置における高エネルギーイオンビームの角度分布評価 (2012)
  • 著者名/発表者名: 岸本竜太、伊藤弘昭、升方勝己
  • 学会等名: 核融合科学研究所共同研究研究会
  • 発表場所: 核融合科学研究所
  • 年月日: 2012-03-28
• [学会発表] メッシュ陽極を用いた相対論電子ビームの特性評価 (2012)
  • 著者名/発表者名: 下根大侑、伊藤翼、伊藤弘昭、升方勝己
  • 学会等名: 核融合科学研究所共同研究研究会
  • 発表場所: 核融合科学研究所
  • 年月日: 2012-03-27
• [学会発表] 両極性パルス加速器におけるビーム特性評価 (2011)
  • 著者名/発表者名: 北島一樹、松上祐介、伊藤弘昭、升方勝己
  • 学会等名: Plasma Conference 2011
  • 発表場所: 石川県立音楽堂
  • 年月日: 2011-11-22
• [学会発表] メッシュ陽極を用いた相対論的電子ビームダイオードの特性 (2011)
  • 著者名/発表者名: 下根大侑、伊藤翼、伊藤弘昭、升方勝己
  • 学会等名: Plasma Conference 2011
  • 発表場所: 石川県立音楽堂
  • 年月日: 2011-11-22
• [学会発表] パルス重イオンビーム用イオン源としてのAlワイヤー放電の特性評価 (2010)
  • 著者名/発表者名: 落合靖、藤川幸大、伊藤弘昭、升方勝己
  • 学会等名: 核融合科学研究所共同研究研究会
  • 発表場所: 核融合科学研究所
  • 年月日: 2010-12-22
• [学会発表] プラズマフォーカスにおける高強度窒素パルスイオンビームの特性評価、及び表面改質への応用 (2010)
  • 著者名/発表者名: 洪明、程東旭、伊藤弘昭、升方勝己
  • 学会等名: 核融合科学研究所共同研究研究会
  • 発表場所: 核融合科学研究所
  • 年月日: 2010-12-22
• [学会発表] Generation of High Current Pulsed Heavy Ion Beam for Application of Materials Processing (2010)
  • 著者名/発表者名: H. Ito, Y. Ochiai, K. Masugata
  • 学会等名: 3rd Euro-Asian Pulsed Power Conference & 18th International Conference on High-Power Particle Beams
  • 発表場所: Jeju, Korea
  • 年月日: 2010-10-13
• [学会発表] Emission Characteristic of High Energy Pulsed Ion Beam produced in Dense Plasma Focus Device (2010)
  • 著者名/発表者名: H. Ito, Y. Nishino, K. Masugata
  • 学会等名: 3rd Euro-Asian Pulsed Power Conference & 18th International Conference on High-Power Particle Beams
  • 発表場所: Jeju, Korea
  • 年月日: 2010-10-13
• [備考]
  • URL: http://denryoku.eng.u-toyama.ac.jp/