研究課題
若手研究(B)
軟硬二層薄膜磁気記録において、CoFeTaBおよびFeHfNbYBは下地層に使われる。大過冷却液体領域を示すので、nano-imprinitingによるPatterningが可能と考えられる。光学/電子ビームリソグラフィによるL10FePt(111)/CoFeTaB膜に25μm-100nmパターンが作製できた。ドットサイズは100nm以下でlift-off技術は問題の発生が明らかとなった。MFMにより、磁気ドットは単一~マルチドメインへ300nm以上の遷移が確認できた。軟硬磁二層薄膜は超高密度パターン記録媒体実現の前景があると結論付けられた。
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