研究課題
若手研究(B)
波長13.5nmのEUVでのレンズレス顕微鏡用の観察手法を開発した.対象とする試料は半導体回路の原板となるEUVマスクである.回折画像からの像再生アルゴリズムとして,タイコグラフィー法を適用し,位相構造を含むパターン観察に成功した.また,スタンドアロン光源として用いる高次高調波で不足する時間コヒーレンスを改善するため,回折格子の開発を進めた.
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Jpn. J. Appl. Phys
巻: 52(in press)
J. Vac. Sci. Technol. B
巻: 29
DOI:10.1116/1.3657525
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DOI:10.1143/JJAP.50.06GB03