13nm高次高調波の時間コヒーレンス100倍改善法の開発

2011 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 22760029
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 薄膜・表面界面物性
• 研究機関: 兵庫県立大学
• 研究代表者: 原田 哲男 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 助教 (30451636)
• 研究期間 (年度): 2010 – 2011
• キーワード: 応用光学 / EUV / 高次高調波 / コヒーレンス / コヒーレント回折イメージング

研究概要

波長13.5nmのEUVでのレンズレス顕微鏡用の観察手法を開発した.対象とする試料は半導体回路の原板となるEUVマスクである.回折画像からの像再生アルゴリズムとして,タイコグラフィー法を適用し,位相構造を含むパターン観察に成功した.また,スタンドアロン光源として用いる高次高調波で不足する時間コヒーレンスを改善するため,回折格子の開発を進めた.

研究成果

• [雑誌論文] Development of Coherent Extreme-Ultraviolet Scatterometry Microscope with High-Order Harmonic Generation Source for Extreme-Ultraviolet Mask Inspection and Metrology (2012)
  • 著者名/発表者名: Masato Nakasuji, Akifumi Tokimasa, Tetsuo Harada, Yutaka Nagata, Takeo Watanabe, Katsumi Midorikawa, Hiroo Kinoshita
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys 巻: 52(in press)
  • 査読あり
• [雑誌論文] Imaging of EUV-mask patterns using coherent EUV scatterometry microscope based on coherent diffraction imaging (2011)
  • 著者名/発表者名: Tetsuo Harada, Masato Nakasuji, Teruhiko, Kimura, Takeo Watanabe, Hiroo Kinoshita, Yutaka Nagata
  • 雑誌名: J. Vac. Sci. Technol. B 巻: 29
  • DOI: DOI:10.1116/1.3657525
  • 査読あり
• [雑誌論文] Critical Dimension Measurement of an Extreme-Ultraviolet Mask Utilizing Coherent Extreme-Ultraviolet Scatterometry Microscope at NewSUBARU (2011)
  • 著者名/発表者名: Tetsuo Harada, Masato Nakasuji, Masaki Tada, Yutaka Nagata, Takeo Watanabe, and Hiroo Kinoshita
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys 巻: 50
  • DOI: DOI:10.1143/JJAP.50.06GB03
  • 査読あり
• [学会発表] Development of Standalone Coherent EUV Scatterometry Microscope with High-Harmonic-Generation EUV Source (2012)
  • 著者名/発表者名: Tetsuo Harada, Masato Nakasuji, Takeo Watanabe, Hiroo Kinoshita
  • 学会等名: Photo Mask Japan 2012
  • 発表場所: (Yokohama, Japan)(招待講演)
  • 年月日: 2012-04-19
• [学会発表] コヒーレントスキャトロメトリー顕微鏡によるEUVマスク検査 (2011)
  • 著者名/発表者名: 原田哲男, 中筋正人, 渡邊健夫, 永田豊, 木下博雄
  • 学会等名: 第11回X線結像光学シンポジウム
  • 発表場所: (東北大学)(招待講演)
  • 年月日: 2011-11-04