2011 年度研究成果報告書

ZnO結晶を用いたEUV光イメージングデバイスの開発

研究課題

研究課題/領域番号	22760039
研究種目	若手研究(B)
配分区分	補助金
研究分野	応用光学・量子光工学
研究機関	大阪大学
研究代表者	中里智治大阪大学, レーザーエネルギー学研究センター, 特任研究員 (10467508)
研究期間 (年度)	2010 – 2011
キーワード	光学素子 / 装置 / 材料 / EUVイメージング
研究概要	軟X線レーザーをフレネルゾーンプレートで約1μmに集光し、発光パターンをシュバルツシルト対物レンズ、カメラ用レンズ、EB-CCDカメラに2枚の凸レンズで構成されるテレスコープを組み込んだ拡大光学系で撮影した。発光パターン径は水平方向が5. 0μm、垂直方向が4. 7μmであった。見積もられるスポット径との差は拡大光学系の空間分解能で制限されており、テレスコープ用レンズの組み合わせでサブミクロンの空間分解能を実現できることを実証した。