| 研究概要 |
本研究では光ファイバを用いてトラッピングしたマイクロ球をプローブとして利用するナノCMMを提案している.光ファイバトラッピングプローブでは光ファイバの先端から出射する光がプローブとして利用するマイクロ球をとラッピングする.また,光ファイバ先端から再入射する光の光量変化がプローブ接触信号として使われる.このような光量変化はプローブが測定対象の表面に接触すると生じるプローブ球と光ファイバ先端からの相対的な位置ずれにより発生する.シミュレーションにより設計した光ファイバを用いて行った実験では光ファイバトラッピングプローブが測定対象と接触するときのプローブ信号の変化が検出できた.また,その信号変化の原因をシミュレーションにより明らかにした.
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