2012 年度研究成果報告書

運動誤差測定用3点法マイクロプローブユニットの開発と新調整アルゴリズムの実証

研究課題

研究課題/領域番号	22760099
研究種目	若手研究(B)
配分区分	補助金
研究分野	生産工学・加工学
研究機関	九州工業大学
研究代表者	清水浩貴九州工業大学, 大学院・工学研究院, 准教授 (50323043)
研究協力者	田丸雄摩九州工業大学, 大学院・工学研究院, 助教 (30284590) 馬場昭好九州工業大学, マイクロ化総合技術センター, 准教授 (80304872) 竹内修三北九州学術推進機構(FAIS), 半導体技術センター, 主任研究員
研究期間 (年度)	2010 – 2012
キーワード	精密位置決め / 加工計測
研究概要	ステージの運動誤差測定に用いる, 3 点の変位を同時に測定可能な MEMS プローブユニットを提案した.製作過程を探針部,変位検出部と電気回路,外形の3つに分け,各プロセスの加工条件を決定した.さらにデバイス全体を作るプロセスの問題点を洗い出し,プロセスの再構築によりこのデバイスを実現する見通しを得た.また,3 点法による形状・運動誤差測定法のためのデータ処理プログラムを作成し,精度低下の原因となるセンサの配置誤差の影響をシミュレーションにより明らかにした.