2011 年度研究成果報告書

水素含有DLC膜の紫外線照射による極表面低摩擦処理手法の開発

研究課題

研究課題/領域番号	22760113
研究種目	若手研究(B)
配分区分	補助金
研究分野	設計工学・機械機能要素・トライボロジー
研究機関	名古屋大学
研究代表者	野老山貴行名古屋大学, 工学研究科, 助教 (20432247)
研究期間 (年度)	2010 – 2011
キーワード	超低摩擦 / 高耐摩耗性 / 大気中 / 窒化ケイ素球 / 紫外線照射
研究概要	水素含有DLC膜は一般的に大気中摩擦係数が0. 1程度と報告されているが,さらなる低摩擦特性が求められている.本研究では成膜後の表面に紫外線を照射し,摩擦初期から低摩擦となる表面の創製方法について提案した. 0. 1程度であった摩擦係数が0. 05以下まで減少することが明らかとなり,そのメカニズムとして紫外線の照射によりDLC膜の極表面の炭素の二重結合量が増加していることが明らかとなった.