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2010 年度 実績報告書

グラフェン単電子集積回路の開発

研究課題

研究課題/領域番号 22760235
研究機関独立行政法人物質・材料研究機構

研究代表者

津谷 大樹  独立行政法人物質・材料研究機構, ナノテクノロジー融合センター, 主任エンジニア (10469760)

キーワードグラフェン / ナノ材料 / ナノ加工 / 集束イオンビーム / トンネルバリア / 量子効果
研究概要

本研究の目的は、炭素原子1層~数層から成るグラフェンを用いた単電子トランジスタの高温動作化の探究および単電子論理回路の基本動作実証である。本年度の成果目標は、まず単電子トランジスタの高温動作化に重要となる高いトンネルバリア形成手法の探究と、単電子トランジスタの安定した作製手法の開発である。これらを達成するために本研究では集束イオンビーム(FIB : Focused Ion Beam)を用いてグラフェンに直接ナノスケールの加工を行った。まず、へき開法によってSiO_2/Si基板上に貼付したグラフェンを電子線描画装置と反応性イオンエッチングを用いて幅1μm、長さ5μm程度の長方形に加工し、その後電子線描画装置と電子線蒸着装置で加工したグラフェンの両端にソースドレイン電極を作製する。これらを複数個作製し、幅1μmのグラフェンに対してFIBを用いて局所的に加工し、幅40nm程度から300nm程度まで20nm刻みでナノギャップ加工を行った。FIB加工を行ったグラフェンを室温・低温測定した結果、ギャップ幅が300nmから100nm程度まではオームの法則に則って抵抗値がギャップ幅に反比例したが、ギャップ幅が100nm以下になると、急激に抵抗値が増大する結果が得られた。この現象は量子効果によるトンネル現象を反映した結果であり、FIB加工によってトンネルバリア形成が可能であることを実証したものである。この結果は、FIB加工によるグラフェン単電子トランジスタの作製に大きく繋がるものであると共に、グラフェンのトンネルバリア形成の新たな手法を確立した重要な成果であると考えている。

  • 研究成果

    (16件)

すべて 2011 2010

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (13件)

  • [雑誌論文] Polarization independent visible color filter comprising an aluminum film with surface-plasmon enhanced transmission through a subwavelength array of holes2011

    • 著者名/発表者名
      D.Inoue, A.Miura, T.Nomura, H.Fujikawa, K.Sato, N.Ikeda, D.Tsuya, Y.Sugimoto, Y.Koide
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 98 ページ: 093113 1-3

    • DOI

      10.1063/1.3560467

    • 査読あり
  • [雑誌論文] π junction transition in InAs self-assembled quantum dot coupled with SQIUD2011

    • 著者名/発表者名
      S.Kim, R.Ishiguro, M.Kamio, Y.Doda, E.Watanabe, D.Tsuya, K.Shibata, K.Hirakawa, H.Takayanagi
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 98 ページ: 063106-1-063106-3

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of quantum-dot devices in graphene2010

    • 著者名/発表者名
      S.Moriyama, Y.Morita, E.Watanabe, D.Tsuya, S.Uji, M.Shimizu, K.Ishibashi
    • 雑誌名

      Science and Technology of Advanced Materials

      巻: 11 ページ: 054601-1-054601-5

    • 査読あり
  • [学会発表] Demonstration of AlN/Diamond Heterostructure Field Effect Transistors2011

    • 著者名/発表者名
      M.Imura, R.Hayakawa, H.Oosato, E.Watanabe, D.Tsuya, M.Liao, H.Amano, Y.Koide
    • 学会等名
      MANA International Symposium 2011
    • 発表場所
      Tsukuba, Japan
    • 年月日
      20110302-20110304
  • [学会発表] Quantum Dots and Nanostructures in Graphene2011

    • 著者名/発表者名
      S.Moriyama, D.Tsuya, E.Watanabe, S.Uji, M.Shimizu, K.Ishibashi
    • 学会等名
      ISNTT2011
    • 発表場所
      Kanagawa, Japan
    • 年月日
      20110111-20110114
  • [学会発表] Contact Resistance in Graphene-Based Devices2011

    • 著者名/発表者名
      E.Watanabe, D.Tsuya, Y.Koide
    • 学会等名
      Frontiers in Nanoscale Science and Technology Workshop 2011
    • 発表場所
      Saitama, Japan
    • 年月日
      20110105-20110107
  • [学会発表] π junction behavior in SQUID coupled with self-assembled quantum dot2010

    • 著者名/発表者名
      S.Kim, R.Ishiguro, Y.Doda, E.Watanabe, D.Tsuya, K.Shibata, K.Hirakawa, H.Takayanagi
    • 学会等名
      PASPS-15
    • 発表場所
      Tsukuba, Japan
    • 年月日
      20101220-20101221
  • [学会発表] Beam steering devices with nanohole antennas2010

    • 著者名/発表者名
      T.Matsui, A.Miura, T.Nomura, D.Inoue, H.Fujikawa, K.Sato, N.Ikeda, D.Tsuya, Y.Sugimoto, H.Miyazaki, K.Asakawa, M.Ozaki, M.Hangyo
    • 学会等名
      2010 MRS Fall Meeting
    • 発表場所
      Boston, USA
    • 年月日
      20101129-20101203
  • [学会発表] CrドープしたV2O3ナノ粒子における金属絶縁体転移2010

    • 著者名/発表者名
      白石達也、末廣智、木田徹也、石井啓文、手塚泰久、渡辺英一郎、津谷大樹、河江達也、石渡洋一
    • 学会等名
      平成22年度応用物理学会九州支部学術講演会
    • 発表場所
      福岡、日本
    • 年月日
      20101127-20101128
  • [学会発表] 種々酸化膜/シリコン基板上に作製したグラフェンの電気伝導特性2010

    • 著者名/発表者名
      渡辺英一郎、津谷大樹、小出康夫
    • 学会等名
      第24回ダイヤモンドシンポジウム
    • 発表場所
      東京、日本
    • 年月日
      20101117-20101119
  • [学会発表] 伝送線路(TLM)法による多端子グラフェンデバイスのコンタクト抵抗評価2010

    • 著者名/発表者名
      渡辺英一郎、津谷大樹、小出康夫
    • 学会等名
      第24回ダイヤモンドシンポジウム
    • 発表場所
      東京、日本
    • 年月日
      20101117-20101119
  • [学会発表] マイクロ流路を利用した細胞のサイズ分離による細胞周期同調2010

    • 著者名/発表者名
      右田聖、津谷大樹、杉本喜正、生駒俊之、花方信孝、山崎智彦
    • 学会等名
      第62回日本生物工学会大会
    • 発表場所
      宮崎、日本
    • 年月日
      20101027-20101029
  • [学会発表] Fe3-δ04ナノ粒子のポストアニール効果2010

    • 著者名/発表者名
      伊藤直樹、木田徹也、渡辺英一郎、津谷大樹、手塚泰久、石渡洋一
    • 学会等名
      2010年秋季 第71回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      長崎、日本
    • 年月日
      20100914-20100917
  • [学会発表] Evolution of nanophotonics from semiconductor photonic crystal device to matal/semiconductor plasmonic device2010

    • 著者名/発表者名
      K.Asakawa, Y.Sugimoto, N.Ikeda, D.Tsuya, Y.Koide, Y.Watanabe, N.Ozaki, D.Kumar, T.Nomura, D.Inoue, A.Miura, H.Fujikawa, K.Sato
    • 学会等名
      CAOL 2010
    • 発表場所
      Crimea, Ukraine
    • 年月日
      20100910-20100914
  • [学会発表] Side-gate controlled electrical properties of superconducting quantum interference device coupled with self-assembled InAs quantum dot2010

    • 著者名/発表者名
      S.Kim, R.Ishiguro, Y.Doda, E.Watanabe, D.Tsuya, K.Shibata, K.Hirakawa, H.Takayanagi
    • 学会等名
      30^<th> International Conference on the Physics of Semiconductors
    • 発表場所
      Seoul, Korea
    • 年月日
      20100725-20100730
  • [学会発表] Optical properties of RGB filter comprising Aluminum film with surface plasmon enhanced transmission through sub-wavelength2010

    • 著者名/発表者名
      D.Inoue, T.Nomura, H.Fujikawa, K.Sato, N.Ikeda, D.Tsuya, Y.Sugimoto, Y.Koide, K.Asakawa
    • 学会等名
      The international conference on nanophotonics 2010
    • 発表場所
      Tsukuba, Japan
    • 年月日
      20100530-20100603

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公開日: 2012-07-19  

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