高強度レーザー場での化学気相析出を利用した金属基材の硬質セラミックスコーティング

2011 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 22760550
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 材料加工・処理
• 研究機関: 東北大学
• 研究代表者: 伊藤 暁彦 東北大学, 金属材料研究所, 助教 (20451635)
• 研究期間 (年度): 2010 – 2011
• キーワード: 化学気相析出 / レーザー工学 / セラミックス / コーティング / 配向制御

研究概要

高強度レーザー光をレンズで拡げて原料気相中に照射することで、比較的大きな領域に活性な反応場を創り出すことができる。このような高強度レーザー場において化学気相析出を行うことで、コーティングプロセスが著しく活性化される。本研究では、チタン系基材へのα-Al_2O_3, TiONおよびTiNをはじめとするセラミックス膜のコーティングを行い、合成条件が膜の組織や結晶配向に与える影響について調べることで、膜の微細構造や界面構造を精緻に制御したコーティングプロセスを確立した。

研究成果

• [雑誌論文] Preparation of LaRuO_3 Films by Microwave Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Kimura, A. Ito, T. Kimura, T. Goto
  • 雑誌名: Thin Solid Films 巻: 520 ページ: 1847-1850
  • 査読あり
• [雑誌論文] Rh-nanoparticle-dispersed ZrO_2 films prepared by laser chemical vapor deposition (2012)
  • 著者名/発表者名: A. Honda, T. Kimura, A. Ito, T. Goto
  • 雑誌名: Surface and Coatings Technology 巻: 206 ページ: 3006-3010
  • 査読あり
• [雑誌論文] Preparation of Ba-Ti-O films by Laser Chemical Vapor Deposition (2012)
  • 著者名/発表者名: A. Ito, D. Y. Guo, R. Tu, T. Goto
  • 雑誌名: Materials Chemistry and Physics 巻: 133 ページ: 398-404
  • 査読あり
• [雑誌論文] Effect of Precursor Supply on (100)and (001)Orientations of α-Al_2O_3 Film Prepared by Laser CVD (2012)
  • 著者名/発表者名: K. Hokuto, A. Ito, T. Kimura, T. Goto
  • 雑誌名: Key Engineering Materials 巻: 508 ページ: 3-6
  • 査読あり
• [雑誌論文] Growth of b-axis-oriented BaTi_2O_5 Nanopillars by Laser Chemical Vapor Deposition (2012)
  • 著者名/発表者名: D. Y. Guo, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 雑誌名: Key Engineering Materials 巻: 508 ページ: 185-188
  • 査読あり
• [雑誌論文] Ba_2TiO_4 and Ba_4Ti_<13> O_<30> Thick Films Prepared by Laser Chemical Vapor Deposition and Their Microstructure (2012)
  • 著者名/発表者名: D. Y. Guo, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 雑誌名: Key Engineering Materials 巻: 508 ページ: 199-202
  • 査読あり
• [雑誌論文] Preparation of c-axis-oriented Y_2Ba_4Cu_7O_<15-δ> Films by Laser CVD with Ultrasonically Nebulized Precursor (2012)
  • 著者名/発表者名: A. Ito, M. Sato, T. Goto
  • 雑誌名: Key Engineering Materials 巻: 508 ページ: 207-210
  • 査読あり
• [雑誌論文] Preparation of Titania Solid Films by Laser CVD using CO_2 Laser (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Gao, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 雑誌名: Key Engineering Materials 巻: 508 ページ: 279-282
  • 査読あり
• [雑誌論文] Microcolumnar and Granular Structures of TiO_2 Films Prepared by Laser CVD using Nd : YAG Laser (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Gao, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 雑誌名: Key Engineering Materials 巻: 508 ページ: 287-290
  • 査読あり
• [雑誌論文] Dielectric properties of Ba_4Ti_<13> O_<30> film prepared by laser chemical vapor deposition (2012)
  • 著者名/発表者名: D. Y. Guo, A. Ito, T. Goto, R. Tu, C. B. Wang, Q. Shen, L. Zhang
  • 雑誌名: Journal of Materials Science 巻: 47 ページ: 1559-1561
  • 査読あり
• [雑誌論文] Effect of laser power on microstructure and dielectric properties of BaTi_5O_<11> films prepared by laser chemical vapor deposition method (2012)
  • 著者名/発表者名: D. Y. Guo, A. Ito, T. Goto, R. Tu, C. B. Wang, Q. Shen, L. Zhang
  • 雑誌名: Journal of Materials Science : Materials in Electronics 巻: (accepted)
  • 査読あり
• [雑誌論文] Preparation of (020)-oriented BaTi_2O_5 thick films and their dielectric responses (2012)
  • 著者名/発表者名: A. Ito, D. Y. Guo, R. Tu, T. Goto
  • 雑誌名: Journal of the European Ceramic Society 巻: 32 ページ: 2459-2467
  • 査読あり
• [雑誌論文] Dome-like and dense SiC-SiO_2 nanocomposite films synthesized by laser chemical vapor deposition using CO_2 laser (2011)
  • 著者名/発表者名: S. Yu, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 雑誌名: Surface and Coatings Technology 巻: 205 ページ: 2818-2822
  • 査読あり
• [雑誌論文] Fast epitaxial growth of a-axis-and c-axis-oriented YBa_2Cu_3O_<7-δ> films on (100)LaAlO_3 substrate by laser chemical vapor deposition (2011)
  • 著者名/発表者名: P. Zhao, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 雑誌名: Applied Surface Science 巻: 257 ページ: 4317-4320
  • 査読あり
• [雑誌論文] Laser chemical vapor deposition of TiN film on Ti(C, N)-based cermet substrate using Ti(OiPr)_2(dpm)_2-NH3 system (2011)
  • 著者名/発表者名: Y. You, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 雑誌名: Journal of the Ceramics Society of Japan 巻: 199 ページ: 310-313
  • 査読あり
• [雑誌論文] High-speed epitaxial growth of (100)-oriented CeO_2 film on r-cut sapphire by laser chemical vapor deposition (2011)
  • 著者名/発表者名: P. Zhao, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 雑誌名: Surface and Coatings Technology 巻: 205 ページ: 4079-4082
  • 査読あり
• [雑誌論文] Deposition of α-Al_2O_3 films on Ti(C, N)-based cermet substrate by laser chemical vapor deposition using a diode laser (2011)
  • 著者名/発表者名: Y. You, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 雑誌名: Journal of the Ceramics Society of Japan 巻: 119 ページ: 570-572
  • 査読あり
• [雑誌論文] (006)-oriented α-Al_2O_3 films prepared in CO_2-H_2 atmosphere by laser chemical vapor deposition using a diode laser (2011)
  • 著者名/発表者名: Y. You, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 雑誌名: Materials Science and Engineering B 巻: 176 ページ: 984-989
  • 査読あり
• [雑誌論文] Effect of NH_3 Atmosphere on Preparation of Al_2O_3-AlN Composite Film by Laser CVD (2011)
  • 著者名/発表者名: Y. You, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 雑誌名: Key Engineering Materials 巻: 484 ページ: 172-176
  • 査読あり
• [雑誌論文] Preparation of α-Al_2O_3/TiN Multilayer Coating on Ti(C, N)-Based Cermet by Laser CVD (2011)
  • 著者名/発表者名: Y. You, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 雑誌名: Key Engineering Materials 巻: 484 ページ: 188-191
  • 査読あり
• [雑誌論文] High-speed growth of YBa_2Cu_3O_<7-δ> film with high critical temperature on MgO single crystal substrate by laser chemical vapor deposition (2010)
  • 著者名/発表者名: P. Zhao, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 雑誌名: Superconductor Science and Technology 巻: 23 ページ: 125010
  • 査読あり
• [学会発表] Effect of precursor vaporization temperature on microstructure of TiO_2 films prepared by laser CVD using Nd : YAG laser (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Gao, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: 日本セラミックス協会2012年年会
  • 発表場所: 京都市(京都大学)
  • 年月日: 2012-03-19
• [学会発表] 高強度レーザー反応場を利用した強配向結晶の高速気相析出 (2012)
  • 著者名/発表者名: 伊藤暁彦
  • 学会等名: 日本セラミックス協会2012年年会
  • 発表場所: 京都市(京都大学)
  • 年月日: 2012-03-19
• [学会発表] (110)-oriented Ba β-Al_2O_3 films prepared on AlN substrate by laser chemical vapor deposition (2012)
  • 著者名/発表者名: You Yu, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: ASPT2011
  • 発表場所: 仙台市(東北大学金属材料研究所)
  • 年月日: 2012-03-09
• [学会発表] High-speed preparation of titania films by laser chemcial vapor deposition (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Gao, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: ASPT2011
  • 発表場所: 仙台市(東北大学金属材料研究所)
  • 年月日: 2012-03-09
• [学会発表] High-speed growth of TiO_2 films by laser chemical vapor depositon using Nd : YAG laser (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Gao, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: セラミックス基礎科学討論会第50回記念大会
  • 発表場所: 両国(国際ファッションセンター)
  • 年月日: 2012-01-12
• [学会発表] Effect of Ba/Al molar ratio on the preparation of Ba beta-alumina films by laser chemical vapor deposition (2012)
  • 著者名/発表者名: You Yu, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: セラミックス基礎科学討論会第50回記念大会
  • 発表場所: 両国(国際ファッションセンター)
  • 年月日: 2012-01-12
• [学会発表] レーザーCVD法により合成したAl-Ti-O系膜の微細構造 (2012)
  • 著者名/発表者名: 西垣祥太郎, 伊藤暁彦, 後藤孝
  • 学会等名: セラミックス基礎科学討論会第50回記念大会
  • 発表場所: 両国(国際ファッションセンター)
  • 年月日: 2012-01-12
• [学会発表] レーザーCVD法による配向性α-Al2O3膜の合成と微細構造観察 (2012)
  • 著者名/発表者名: 伊藤暁彦, 尤玉, 塗溶, 後藤孝
  • 学会等名: セラミックス基礎科学討論会第50回記念大会
  • 発表場所: 両国(国際ファッションセンター)
  • 年月日: 2012-01-12
• [学会発表] Rapid synthesis of titania films by laser chemical vapor deposition using Nd : YAG laser (2011)
  • 著者名/発表者名: M. Gao, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: 5th IMR-KU Joint Seminar
  • 発表場所: Seol (Korea University)
  • 年月日: 2011-12-12
• [学会発表] Microstructure of Titania Films Prepared by Laser Chemical Vapor Deposition (2011)
  • 著者名/発表者名: M. Gao, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: 4th French Research Organizations-Tohoku University Joint Workshop on Frontier Materials (FRONTIER-2011)
  • 発表場所: 仙台市(東北大学)
  • 年月日: 2011-12-05
• [学会発表] Preparation of Beta Alumina Films by Laser Chemical Vapor Deposition (2011)
  • 著者名/発表者名: You Yu, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: International Symposium of Materials Integration In conjunction with the 2nd International Symposium on Advanced Synthesis and Processing Technology for Materials (ASPT2011), KINKEN-WAKATE 2011
  • 発表場所: 仙台市(江陽グランドホテル)
  • 年月日: 2011-12-01
• [学会発表] Preparation and characterization of TiO_2 film by laser chemical vapor deposition (2011)
  • 著者名/発表者名: M. Gao, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: International Symposium of Materials Integration In conjunction with the 2nd International Symposium on Advanced Synthesis and Processing Technology for Materials (ASPT2011), KINKEN-WAKATE 2011
  • 発表場所: 仙台市(江陽グランドホテル)
  • 年月日: 2011-12-01
• [学会発表] High-speed preparation of TiO_2 film by laser CVD using CO_2 laser (2011)
  • 著者名/発表者名: M. Gao, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: 第122回東北大学金属材料研究所所内講演会
  • 発表場所: 仙台市(東北大学金属材料研究所)
  • 年月日: 2011-11-24
• [学会発表] レーザーCVDにより合成したα-Al_2O_3膜の優先配向成長 (2011)
  • 著者名/発表者名: 伊藤暁彦, 後藤孝
  • 学会等名: 2011年度セラミックス総合研究会
  • 発表場所: 山梨市(山梨大学)
  • 年月日: 2011-11-18
• [学会発表] High-Speed Deposition of Highly Oriented CeO_2 and YBCO Films by Laser Chemical Vapor Deposition for Superconducting Tape (2011)
  • 著者名/発表者名: P. Zhao, A. Ito, R. Tu
  • 学会等名: 3rd International Symposium on Advanced Ceramics and Technology for Sustainable Energy Applications (ACTSEA2011)
  • 発表場所: Pingtung
  • 年月日: 2011-10-30
• [学会発表] レーザーCVD法によるAl-Ti-O系膜の合成 (2011)
  • 著者名/発表者名: 西垣祥太郎, 伊藤暁彦, 後藤孝
  • 学会等名: 平成23年度日本セラミックス協会東北北海道支部研究発表会
  • 発表場所: 郡山市(日本大学)
  • 年月日: 2011-10-27
• [学会発表] レーザーCVD法により合成したTiO_2膜の生成相と微細構造 (2011)
  • 著者名/発表者名: 佐藤隆宏, 伊藤暁彦, 後藤孝
  • 学会等名: 平成23年度日本セラミックス協会東北北海道支部研究発表会
  • 発表場所: 郡山市(日本大学)
  • 年月日: 2011-10-27
• [学会発表] レーザーCVD法によるTi(O, N)膜の合成と組成の傾斜機能制御 (2011)
  • 著者名/発表者名: 米崎達也, 伊藤暁彦, 後藤孝
  • 学会等名: 平成23年度粉体粉末冶金協会秋季大会
  • 発表場所: 吹田市(大阪大学)
  • 年月日: 2011-10-26
• [学会発表] レーザーCVD法によるエピタキシャルBaTi_2O_5膜の合成とその誘電特性 (2011)
  • 著者名/発表者名: 伊藤暁彦, 郭冬云, 塗溶, 後藤孝
  • 学会等名: 日本セラミックス協会第24回秋季シンポジウム
  • 発表場所: 札幌市(北海道大学)
  • 年月日: 2011-09-07
• [学会発表] レーザーCVDによるアルミナ硬質コーティングの配向成長と微細構造 (2011)
  • 著者名/発表者名: 伊藤暁彦, 後藤孝
  • 学会等名: 日本セラミックス協会第24回秋季シンポジウム
  • 発表場所: 札幌市(北海道大学)
  • 年月日: 2011-09-07
• [学会発表] Preparation of YBa_2Cu_3O_<7-δ> film on Hastelloy C276 tape by laser chemicalvapor deposition using a liquid source (2011)
  • 著者名/発表者名: P. Zhao, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: The 4th International Symposium on Functional Materials (ISFM2011)
  • 発表場所: 仙台市(東北大学)
  • 年月日: 2011-08-02
• [学会発表] High-Speed Coating of Structural Ceramics by Laser Chemical VaporDeposition(招待講演) (2011)
  • 著者名/発表者名: A. Ito, T. Goto
  • 学会等名: The 5th International Conference on the Science and Technology for Advanced Ceramics (STAC-5)
  • 発表場所: 横浜市(メルパルク横浜)
  • 年月日: 2011-06-22
• [学会発表] Highly (100)-oriented CeO_2 film prepared on (100)MgO single crystal substrate by laser chemical vapor deposition (2011)
  • 著者名/発表者名: P. Zhao, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: 第121回東北大学金属材料研究所所内講演会
  • 発表場所: 仙台市(東北大学金属材料研究所)
  • 年月日: 2011-05-24
• [学会発表] α-Al_2O_3 coating on cutting tools by laser chemical vapor deposition (招待講演) (2011)
  • 著者名/発表者名: Y. You, A. Ito, R. Tu
  • 学会等名: Engineering Ceramics 2011
  • 発表場所: Smolenice
  • 年月日: 2011-05-08
• [学会発表] Preparation of BaTi_2O_5 films on (100),(110)and (111)MgO substrates by laser CVD (2011)
  • 著者名/発表者名: D. Y. Guo, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: 日本セラミックス協会2010年年会
  • 発表場所: 浜松市(静岡大学)
  • 年月日: 2011-03-16
• [学会発表] Microstructure of YBa_2Cu_3O_<7-δ> films prepared by laser chemical vapor depositio (2011)
  • 著者名/発表者名: P. Zhao, A. Ito, R. Tu, T. Goto, Takeharu Kato
  • 学会等名: 日本セラミックス協会2010年年会
  • 発表場所: 浜松市(静岡大学)
  • 年月日: 2011-03-16
• [学会発表] (100)-oriented CeO_2 films prepared on (100)SrTiO_3 substrates by laser chemical vapor depositio (2011)
  • 著者名/発表者名: P. Zhao, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: 日本セラミックス協会2010年年会
  • 発表場所: 浜松市(静岡大学)
  • 年月日: 2011-03-16
• [学会発表] Epitaxial growth of BaTi_2O_5 films on (100),(110)and (111)MgO substrates by laser CVD (2011)
  • 著者名/発表者名: D. Y. Guo, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: グローバルCOEプログラム「材料インテグレーション国際教育研究拠点」2010年度若手研究者研究報告会
  • 発表場所: 仙台市(東北大学金属材料研究所)
  • 年月日: 2011-03-01
• [学会発表] Preparation of α-Al_2O_3 films on Ti(C, N)-based cermet substrate by laser chemical vapor deposition (2011)
  • 著者名/発表者名: Y. You, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: グローバルCOEプログラム「材料インテグレーション国際教育研究拠点」2010年度若手研究者研究報告会
  • 発表場所: 仙台市(東北大学金属材料研究所)
  • 年月日: 2011-03-01
• [学会発表] High-speed growth of YBCO films on (100)MgO, LaAlO_3 and SrTiO_3 single crystal substrates by laser CVD (2011)
  • 著者名/発表者名: P. Zhao, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: グローバルCOEプログラム「材料インテグレーション国際教育研究拠点」2010年度若手研究者研究報告会
  • 発表場所: 仙台市(東北大学金属材料研究所)
  • 年月日: 2011-03-01
• [学会発表] High-speed preparation of a-axis-and c-axis-oriented YBa_2Cu_3O_<7-δ> film on Hastelloy C276 tape by laser chemical vapor deposition (2011)
  • 著者名/発表者名: P. Zhao, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: 第49回セラミックス基礎科学討論会
  • 発表場所: 岡山市(岡山コンベンションセンター)
  • 年月日: 2011-01-11
• [学会発表] レーザーCVD法によりサーメット基板上に合成したα-Al_2O_3膜の微細構造 (2011)
  • 著者名/発表者名: Y. You, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: 第49回セラミックス基礎科学討論会
  • 発表場所: 岡山市(岡山コンベンションセンター)
  • 年月日: 2011-01-11
• [学会発表] レーザーCVD法により合成したTi(O, N)膜の配向と微細構造に及ぼす成膜温度の影響 (2011)
  • 著者名/発表者名: T. Yonesaki, A. Ito, T. Goto
  • 学会等名: 第49回セラミックス基礎科学討論会
  • 発表場所: 岡山市(岡山コンベンションセンター)
  • 年月日: 2011-01-11
• [学会発表] High-Speed Growth of YBa_2Cu_3O_<7-δ> Film by Laser Chemical Vapor Deposition (招待講演) (2010)
  • 著者名/発表者名: T. Goto, P. Zhao, A. Ito
  • 学会等名: International Workshop on Advanced Materials and Technologies for Global Energy and Environmental Challenges
  • 発表場所: South Africa
  • 年月日: 2010-12-06
• [学会発表] High-speed growth of YBa_2Cu_3O_<7-d> film with high critical temperature on(100)SrTiO_3 single crystal substrate by laser chemical vapor deposition (2010)
  • 著者名/発表者名: P. Zhao, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: KINKEN-WAKATE 2010
  • 発表場所: 仙台市
  • 年月日: 2010-12-02
• [学会発表] Preparation of Al_2O_3-AlN composite films using Al(acac)_3-NH_3 by laser chemical vapor deposition (2010)
  • 著者名/発表者名: Y. You, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: KINKEN-WAKATE 2010
  • 発表場所: 仙台市
  • 年月日: 2010-12-02
• [学会発表] Effect of laser power on (020)orientation of BaTi_2O_5 film prepared by laser CVD on (100)MgO substrate (2010)
  • 著者名/発表者名: D. Y. Guo, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: KINKEN-WAKATE 2010
  • 発表場所: 仙台市
  • 年月日: 2010-12-02
• [学会発表] (020)-oriented BaTi_2O_5 film prepared on (100)MgO substrate by laser CVD (2010)
  • 著者名/発表者名: D. Y. Guo, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: 第120回東北大学金属材料研究所講演会
  • 発表場所: 仙台市(東北大学金属材料研究所)
  • 年月日: 2010-11-24
• [学会発表] レーザーCVD法によるSiC-SiO_2ナノコンポジット膜の合成 (2010)
  • 著者名/発表者名: A. Ito, S. Yu, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: 第一回セラミックスエンジニアリングワークショップ
  • 発表場所: 大阪市(大阪国際会議場)
  • 年月日: 2010-11-14
• [学会発表] Laser Chemical Vapor Deposition of Oriented Alpha-alumina Coatings (招待講演) (2010)
  • 著者名/発表者名: A. Ito, T. Kimura, T. Goto
  • 学会等名: The 4th International Symposium on Advanced Ceramics (ISAC-4)
  • 発表場所: 大阪市(大阪国際会議場)
  • 年月日: 2010-11-14
• [学会発表] High-speed Preparation of YBa_2Cu_3O_<7-δ> Film on Polycrystalline Al2O3Substrate by Laser Chemical Vapor Deposition Using Nd : YAG Lase (2010)
  • 著者名/発表者名: P. Zhao, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: The 4th International Symposium on Advanced Ceramics (ISAC-4)
  • 発表場所: 大阪市(大阪国際会議場)
  • 年月日: 2010-11-14
• [学会発表] Effect of Laser Power on Preparation of Ti(O, N)Films by Laser Chemical Vapor Deposition Using a Diode Laser (2010)
  • 著者名/発表者名: T. Yonesaki, A. Ito, T. Goto
  • 学会等名: The 4th International Symposium on Advanced Ceramics (ISAC-4)
  • 発表場所: 大阪市(大阪国際会議場)
  • 年月日: 2010-11-14
• [学会発表] Laser Chemical Deposition of AlN Film by Using Al(acac)_3 and NH_3 Precursors (2010)
  • 著者名/発表者名: Y. You, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: The 4th International Symposium on Advanced Ceramics (ISAC-4)
  • 発表場所: 大阪市(大阪国際会議場)
  • 年月日: 2010-11-14
• [学会発表] Effect of deposition temperature on the microstructure of AlN films prepared by laser CVD using a diode laser (2010)
  • 著者名/発表者名: Y. You, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: 粉体粉末冶金協会平成22年度秋季大会
  • 発表場所: 京都市 (京都大学)
  • 年月日: 2010-11-09
• [学会発表] レーザーCVD法により合成したTiON膜の微細構造に与える合成条件の影響 (2010)
  • 著者名/発表者名: A. Ito, H. Joo, T. Goto
  • 学会等名: 粉体粉末冶金協会平成22年度秋季大会
  • 発表場所: 京都市(京都大学)
  • 年月日: 2010-11-09
• [学会発表] レーザーCVD法により合成したTi (O, N)膜の組成と微細構造に及ぼすレーザー出力の影響 (2010)
  • 著者名/発表者名: T. Yonesaki, A. Ito, T. Goto
  • 学会等名: 平成22年度日本セラミックス協会東北北海道支部研究発表会
  • 発表場所: 仙台市(東北大学さくらホール)
  • 年月日: 2010-10-28
• [学会発表] Preparation of AlN film by laser CVD using Al(acac)_3 and NH_3 Precursors (2010)
  • 著者名/発表者名: Y. You, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: 平成22年度日本セラミックス協会東北北海道支部研究発表会
  • 発表場所: 仙台市(東北大学さくらホール)
  • 年月日: 2010-10-28
• [学会発表] High-speed growth of YBa_2Cu_3O_<7-d> film with high critical temperature on MgO single crystal substrate by laser chemical vapor deposition (2010)
  • 著者名/発表者名: P. Zhao, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: Tohoku-Novosibirsk Research Student Workshop
  • 発表場所: Novosibirsk
  • 年月日: 2010-09-19
• [学会発表] Deposition of α-Al_2O_3 films on cermet substrate under CO_2-H_2 atmosphere by laser CVD (2010)
  • 著者名/発表者名: Y. You, A. Ito, R. Tu, T. Goto
  • 学会等名: 第119回東北大学金属材料研究所講演会
  • 発表場所: 仙台市(東北大学金属材料研究所)
  • 年月日: 2010-05-27
• [備考]
  • URL: http://db.tohoku.ac.jp/whois/detail/40a373e0809cc5b4bba29cf54eba0a89.html