2011 年度研究成果報告書

金属ガラス成膜の最適化と高性能MEMSデバイスへの展開

研究課題

研究課題/領域番号	22760552
研究種目	若手研究(B)
配分区分	補助金
研究分野	材料加工・処理
研究機関	東北大学
研究代表者	柳延輝東北大学, 原子分子材料科学高等研究機構, 助教 (70506469)
研究期間 (年度)	2010 – 2011
キーワード	金属ガラス / 薄膜 / MEMS
研究概要	金属ガラス薄膜の成長や基板との結合にどのようなパラメータが影響を与えるかを明らかにした。これらの結果は、MEMSデバイスや金属ガラス薄膜の作製に当たり、有益な情報である。薄膜の機械特性は、ナノインデンテーションによって評価した。原子間力顕微鏡を用いることで、金属ガラスには約2. 5nm程度の不均一構造があり、多くの金属ガラスモデルと一致することを明らかにした。