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2012 年度 研究成果報告書

多機能複合クラスタービームを用いた新規ナノ材料創成・加工技術基盤の開発

研究課題

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研究課題/領域番号 22760557
研究種目

若手研究(B)

配分区分補助金
研究分野 材料加工・処理
研究機関京都大学

研究代表者

瀬木 利夫  京都大学, 大学院・工学研究科, 講師 (00402975)

研究期間 (年度) 2010 – 2012
キーワードクラスター / 量子ビーム科学 / ナノプロセス
研究概要

常温常圧における物質の態を問わず混合した複合クラスターを生成するための複合クラスター形成装置を開発し、液体(メタノール、水、α-トリクロロエタン)・気体(Ar)複合クラスターを生成できることを示した。生成した CH3OH-Ar 複合クラスターの Si 基板への照射により放出された二次イオンを評価した結果、二次イオン強度が Ar クラスター照射の場合に比べて約1桁高く、 CH3OH-Ar 複合クラスターが二次イオン質量分析用一次ビームとして有効であることを示した。

  • 研究成果

    (22件)

すべて 2013 2012 2011 2010

すべて 雑誌論文 (8件) (うち査読あり 8件) 学会発表 (14件)

  • [雑誌論文] Development of gas cluster ion beam irradiation system with an orthogonal acceleration TOF instrument2013

    • 著者名/発表者名
      K.Ichiki, J. Tamura, T. Seki, T. Aoki and J. Matsuo
    • 雑誌名

      Surface and Interface Analysis

      巻: Vol.44,No.1 ページ: 522-524

    • DOI

      DOI:10.1002/sia.5092

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Ion-induced damage evaluation with Ar cluster ion beams2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Yamamoto, K.Ichiki, T. Seki, T. Aokiand J. Matsuo
    • 雑誌名

      Surface and Interface Analysis

      巻: Vol.44, No.1 ページ: 167-170

    • DOI

      DOI:10.1002/sia.5014

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Molecular dynamics study of crater formation by core-shell structured cluster impact2012

    • 著者名/発表者名
      T. Aoki, T. Seki and J. Matsuo
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B

      巻: 282 ページ: 29-32

    • DOI

      DOI:10.1016/j.nimb.2011.08.061

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Depth profiling analysis of damaged arginine films with Ar cluster ion beams2012

    • 著者名/発表者名
      J. Matsuo, K. Ichiki, Y. Yamamoto, T. Sekiand T. Aoki
    • 雑誌名

      Surface and Interface Analysis

      巻: Vol.44, No.6 ページ: 729-731

    • DOI

      DOI:10.1002/sia.4856

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Etching of metallic materials with Cl2gas cluster ion beam2011

    • 著者名/発表者名
      T. Seki, T. Aoki and J. Matsuo
    • 雑誌名

      Surface & Coatins Technology

      巻: 206 Issues 5 ページ: 789-791

    • DOI

      DOI:10.1016/j.surfcoat.2011.04.054

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Molecular dynamics simulations of large fluorine cluster impact on silicon with supersonic velocity2011

    • 著者名/発表者名
      T. Aoki, T. Seki and J. Matsuo
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B

      巻: 269 ページ: 1582-1585

    • DOI

      DOI:10.1016/j.nimb.2010.12.013

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Surface morphology of PMMA surfaces bombarded with size-selected gas cluster ion beams2011

    • 著者名/発表者名
      K. Ichiki, S. Ninomiya, Y. Nakata, H. Yamada, T. Seki, T. Aoki and J. Matsuo
    • 雑誌名

      Surface and Interface Analysis

      巻: Vol.43, No.1-2 ページ: 120-122

    • DOI

      DOI:10.1002/sia.3444

    • 査読あり
  • [雑誌論文] High Speed Si Etching with ClF3 Cluster Injection2010

    • 著者名/発表者名
      T. Seki, Y. Yoshino, T. Senoo, K. Koike, S. Ninomiya, T. Aoki, and J.Matsuo
    • 雑誌名

      AIP Conference Proceedings

      巻: Vol. 1321 ページ: 317-320

    • DOI

      DOI:10.1063/1.3548393

    • 査読あり
  • [学会発表] Si トレンチ構造への巨大フッ素クラスター衝突の MD シミュレーション2013

    • 著者名/発表者名
      青木学聡、瀬木利夫、松尾二郎
    • 学会等名
      第60回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      2013-03-29
  • [学会発表] ClF3 中性クラスタービームによる反応性エッチングの高速化2013

    • 著者名/発表者名
      瀬木利夫、吉野裕、妹尾武彦、小池国彦、青木学聡、松尾二郎
    • 学会等名
      第60回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      2013-03-29
  • [学会発表] ガスクラスターイオンビームによるDSPC の深さ方向 SIMS 分析2013

    • 著者名/発表者名
      中川駿一郎、瀬木利夫、青木学聡、松尾二郎
    • 学会等名
      第60回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      2013-03-28
  • [学会発表] High-speed Processing with ClF3 Cluster Injection2012

    • 著者名/発表者名
      T. Seki, Y. Yoshino, T. Senoo, K. Koike, T. Aoki, and J. Matsuo
    • 学会等名
      IUMRS-International Conference on Electronic Materials (IUMRS-ICEM 2012)
    • 発表場所
      Yokohama, Japan
    • 年月日
      20120923-28
  • [学会発表] 集束クラスターイオンビーム照射による直行加速飛行時間型 SIMS 分析2012

    • 著者名/発表者名
      中川駿一郎、瀬木利夫、青木学聡、松尾二郎
    • 学会等名
      第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛大学/松山大学
    • 年月日
      2012-09-13
  • [学会発表] ClF3 クラスターイオンビームによる反応性エッチング2012

    • 著者名/発表者名
      瀬木利夫、吉野裕、妹尾武彦、小池国彦、青木学聡、松尾二郎
    • 学会等名
      第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛大学/松山大学
    • 年月日
      2012-09-13
  • [学会発表] バブリング法によるメタノールクラスターイオンビーム生成2012

    • 著者名/発表者名
      瀬木利夫、青木学聡、松尾二郎
    • 学会等名
      第59回応用物理学会
    • 発表場所
      早稲田大学
    • 年月日
      2012-03-17
  • [学会発表] Cluster Beam Generation of Low Vapor Pressure Materials2011

    • 著者名/発表者名
      T. Seki, Y. Yoshino, T. Senoo, K. Koike, T. Aoki and J. Matsuo
    • 学会等名
      21th MRS-J Symposium (International Session)
    • 発表場所
      Yokohama, Japan
    • 年月日
      2011-12-20
  • [学会発表] The Effect of Size Variation in Sputtering with Size-Selected Cluster Ion Beams2011

    • 著者名/発表者名
      T. Seki, K. Ichiki, J. Tamura, T. Aoki and J. Matsuo
    • 学会等名
      11th Workshop on Cluster Ion Beam Technology
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 年月日
      2011-12-05
  • [学会発表] 高融点材料の混合クラスタービーム生成2011

    • 著者名/発表者名
      瀬木利夫、吉野裕、妹尾武彦、小池国彦、青木学聡、松尾二郎
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学
    • 年月日
      2011-09-01
  • [学会発表] Si Processing with Energetic Neutral Cluster Beam2011

    • 著者名/発表者名
      T. Seki, Y. Yoshino, T. Senoo, K. Koike, T. Aoki and J. Matsuo
    • 学会等名
      E-MRS 2011 Spring Meeting
    • 発表場所
      Nice, France
    • 年月日
      2011-05-09
  • [学会発表] High-speed Si etching with ClF3 neutral cluster beam2010

    • 著者名/発表者名
      T. Seki, Y. Yoshino, T. Senoo, K. Koike, T. Aoki and J. Matsuo
    • 学会等名
      20th MRS-J Symposium (International Session)
    • 発表場所
      Yokohama, Japan
    • 年月日
      2010-12-22
  • [学会発表] 複合クラスター生成技術の開発2010

    • 著者名/発表者名
      瀬木利夫,青木学聡,松尾二郎
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学
    • 年月日
      2010-09-16
  • [学会発表] Etching Characteristics with Ar-Cl2 Gas Mixed Cluster Ion Beam2010

    • 著者名/発表者名
      T. Seki, T. Aoki and J. Matsuo
    • 学会等名
      10th Workshop on Cluster Ion Beam Technology
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 年月日
      2010-06-14

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公開日: 2014-08-29  

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