2011 年度研究成果報告書

超高速・高品質SiC単結晶の溶液成長プロセスにおけるマランゴニ対流の発生因子

研究課題

研究課題/領域番号	22760576
研究種目	若手研究(B)
配分区分	補助金
研究分野	金属生産工学
研究機関	東京大学
研究代表者	吉川健東京大学, 環境安全研究センター, 准教授 (90435933)
研究期間 (年度)	2010 – 2011
キーワード	シリコンカーバイド / 溶液成長 / マランゴニ対流 / 表面張力
研究概要	本研究ではFe-Si溶媒を用いたシリコンカーバイドのFZ溶液成長におけるマランゴニ対流の発生因子を解明することを目的とした。合金用の最大泡圧法実験装置を新規に作製し、Fe-Si-C系溶融合金の表面張力を1250～1450℃にて測定した。Fe-Si二元系合金とFe-Si-C三元系合金の表面張力に大きな差は見られず、炭素の影響は見られなかった。よって溶液成長時にFe-Si溶媒中では、温度差に起因したマランゴニ対流が生じることが推定された。