研究課題
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工業製品の急速な発展に伴い、新規な高周波磁性材料が期待されている。本研究では、セラミックス中にナノスケールの磁性粒子が高濃度で分散している、ヘテロ構造のナノ複相膜の研究を行った。セラミックス材料としては、その高い熱的安定性からTiNを選んだ。Co_X-(TiN)_<1-X> 膜はX=40-80の広い組成範囲で軟磁性を示し、その特性は600℃まで安定である。また、軟磁性Co-TiN膜は優れた電磁波ノイズ吸収特性を示すことを見出した。
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IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS
巻: Vol.47 ページ: 3795-3798
DOI:10.1109/TMAG.2011.2156763