2011 年度研究成果報告書

微小球共振器を用いた3次元微細形状計測用マイクロプローブに関する研究

研究課題

研究課題/領域番号	22860034
研究種目	研究活動スタート支援
配分区分	補助金
研究分野	生産工学・加工学
研究機関	大阪大学
研究代表者	道畑正岐大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教 (70588855)
研究期間 (年度)	2010 – 2011
キーワード	微小球共振 / NSOM / マイクロプローブ / 光カップリング
研究概要	部品サイズが数mm以下の構造物形状を計測評価可能な超高精度座標測定器(CMM)のための表面検出プローブの開発が急務である。本研究では、微小球共振(WGM)を用いた新原理を提案している。プローブ開発の基礎的研究として、プリズムもしくはテーパファイバを用いてWGMを発生させる装置の構築を行った。また、WGMプローブによる表面検出の分解能を検証するための装置の構築を行った。