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2023 年度 実施状況報告書

モデルベースシミュレーションとAI融合最適化に基づく革新的ロボット研磨技術の開発

研究課題

研究課題/領域番号 22K03866
研究機関金沢工業大学

研究代表者

畝田 道雄  金沢工業大学, 工学部, 教授 (00298324)

研究分担者 鈴木 教和  中央大学, 理工学部, 教授 (00359754)
研究期間 (年度) 2022-04-01 – 2025-03-31
キーワードモデルベースシミュレーション / AI融合最適化 / 革新的ロボット研磨技術 / データドリブン / 最終仕上げ工程
研究実績の概要

本研究の目的は,従来の常識を覆す究極の3次元ロボット研磨技術を開発することにある.具体的には,(I) 3次元研磨プロセスのモデルベースシミュレーション技術の開発,(II) モデルベースで取り扱うことができない当該プロセスでの実現象を「見える化」し,それをデータドリブン型で取り扱えるAI融合最適化システムの開発,(III) これらに基づく革新的3次元ロボット研磨技術の開発と実証,に取り組むものである.
第2年度となる2023年度は,第1年度に整備した6軸多関節ロボットを用いた3次元研磨の実証実験環境を用いて,基礎的な実験を行った.とりわけ,6軸多関節ロボットの荷重-変位特性を1自由度系の振動モデルに置き換えることによって剛性の定量評価に成功した.
さらには,同時並行として,現行の消耗材の課題を加味しながら,大型3次元工作物の研磨特性(研磨能率・精度)に及ぼす研磨条件(研磨パッド種類やその表面構造・スラリー組成・機械条件)やスラリー流動などの影響を実験的に見える化することに成功し,一連の定量評価結果を得た.とりわけ,ここでは本研究室で試作した研磨界面の可視化できる「2軸トラバース制御研磨装置」を用いるとともにスラリー組成である油剤配合量に着目し,油剤配合量が多いものほど良好な研磨特性を示しうることを明らかにした.したがって,安定的な3次元研磨プロセスを実現するために必要となる消耗材の特性を明らかにすることに成功した.

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

3: やや遅れている

理由

当初計画通りに申請者の研究室で3次元ロボット研磨システムを導入することに成功し,申請者自身も「産業用ロボット特別教育インストラクター(中央労働災害防止協会)」の資格を得て,本研究を遂行するための準備を整えることができている.
しかし,ロボットのオペレーションにおいて慣れるべき事項や特性を把握すべき事項が予想以上に多いことに加えて,二重の安全対策(安全装置設計と製作)も講じたことから,予定よりも若干の遅れが見られている.

今後の研究の推進方策

申請調書にも記載したとおり,多様な専門を有するアドバイザーと適宜コンタクトを取りつつ,独創性ある本研究を進展させる.

次年度使用額が生じた理由

2023年度は第2年度として必要予算を適切に管理しながら研究活動を行った.当初は国外で開催される国際会議で発表予定であったが,国内開催の国際会議で発表を行ったためである.次年度使用額が約74万円と多くなっていることから,2024年度(第3年度)に適切に使用していきたい.

  • 研究成果

    (2件)

すべて 2024 2023

すべて 学会発表 (2件) (うち国際学会 1件)

  • [学会発表] 小径パッドを用いた大型工作物の研磨特性に及ぼすスラリー挙動の影響2024

    • 著者名/発表者名
      齋藤光太郎,畝田道雄,天髙恭祐,堀田和利,森永 均
    • 学会等名
      2024年度精密工学会春季大会学術講演会
  • [学会発表] The impact of consumable properties on 3-D polishing through visualization of the polishing process2023

    • 著者名/発表者名
      Kotaro Saito, Michio Uneda, Kyousuke Tenkou, Kazutoshi Hotta, and Hitoshi Morinaga
    • 学会等名
      International Conference on Planarization/CMP Technology 2023
    • 国際学会

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公開日: 2024-12-25  

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