X線光学では,波長が10~0.01nmの光を主に扱うため,理想的な実験をしようとすると,非常に高い形状精度を持つ鏡が必要である.しかし,現在の最先端技術をもってしても鏡の作製には2nm前後の誤差が生じてしまう.この問題を解決するために,単結晶圧電素子を用いたモノリシックな形状可変鏡を提案した.有限要素シミュレーショを使って設計を検討し,これを試作した.実際に可視光干渉計やX線干渉計を用いて性能を評価したところ,高い安定性と再現性を持つことが分かった.実際のX線実験に応用できる性能を有していることを確認した.
|