研究課題
研究活動スタート支援
本研究では，高密度に集積可能な微細なストレッチャブル配線の実現のため，垂直方向に波状に加工した金属箔の上に，絶縁層を介して微細な電気配線を形成した新規ストレッチャブル構造を提案した．また同構造を実現するため，金属基板上に絶縁膜・微細配線を形成した後，コルゲート加工(歯車による連続曲げ加工)によって伸縮性を有する縦波構造を付与するプロセスを検討し，50%程度の伸張性を備えた，線幅100 μm程度の微細配線の形成に成功した．また同構造の応用として，センサの集積化についての検討も行った．
実装工学
本研究では，微細なパターンの形成・パターンのコントロールが難しかった縦波構造型のストレッチャブル配線に対して，数10～数100μm程度の任意形状パターンの形成が可能な新たなプロセスを提案した．今回確立した作製プロセスは，今後のストレッチャブルデバイスにおける高密度集積化に資する期待される．
