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ナノ生産工学においてその重要度が高まっているレジスト，高分子，バイオ素材等のソフトマテリアルを加工対象として，50nm以下の空間加工分解能でナノ修正加工が可能な新しい概念の光触媒ナノ粒子工具チップ・マイクロ加工工具の提案およびその有効性検証を目的とした．まず，理論的側面から光放射圧に基づいた提案全方位工具基本構成を決定した．次に検証実験システムを開発し，提案概念を実現する上で最も重要となる，面内加工分解能がレーザー照射スポットサイズではなく，光放射圧により把持された光触媒ナノ粒子径で決定されること，さらに深さ方向に関しては10nm以下の加工分解能での除去加工が実現できることを実証した．
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