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微細加工された超高速光電子デバイスの評価のため、レーザーテラヘルツ放射顕微鏡（LTEM）の高空間分解能化を行った。具体的には原子間力顕微鏡（AFM）のカンチレバーのチップ先端に500nmφ径の微細孔加工を施したものを使用し、これにフェムト秒レーザーを照射することによって先端から発生する近接場光を利用してテラヘルツ電磁波パルスの発生に成功した。このテラヘルツ電磁波パルスの強度分布を観測することにより高分解LTEM像およびAFM像の同時観察に成功した。また、近接場光励起によって発生する微弱なテラヘルツ電磁波パルスを高感度に検出するため、低温成長GaAs光伝導スイッチ形状の最適化を行った。
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