研究課題
最終年度にあたる本年度は、「周波数掃引型領域トモグラフィ(THz-OCT)システム」の実用化に不可欠な、高空間分解能化と画像取得の高速化の2つのポイントに注力し、プロトタイプシステムを開発した。具体的に得られた成果は以下のとおりである。1)高空間分解能化:周波数逓倍を利用した全電気技術により、430GHz~750GHz帯の周波数掃引型トモグラフィシステムを開発した。奥行き分解能として、該帯域から理論的に予想される分解能、約0.7mm(空気中)を実験的に実証し、目標としていたサブミリメートル分解能を達成した。2)全電気技術と光技術との比較:並行して、昨年度開発した光技術を用いた周波数掃引型THz-OCTシステムの性能向上を推進し、奥行き分解能0.6mm、横方向分解能0.45mmを達成した。また、奥行き方向の測定精度として±3umが確認され、ペットボトル、ICカード、ケーブル等の単層・多層膜の厚み計測に有効であることを示した。また、光技術を用いた場合、より広帯域の信号発生が可能であり、検出器の広帯域化により、一層の高分解能化が期待できる。一方、全電気システムでは、光技術に比べて約10倍の高出力化が可能であり、損失の大きな物体へ適用することができる。3)測定時間短縮化技術の開発:システムの測定時間を支配している要因は、2次元平面方向の画像を得るためにメカニカルステージで被測定物を動かすところにあった。そこで、新たに設計したFθレンズとガルバノミラーを組み合せることにより、1次元のビームスキャナーを開発し、上記の全電気方式THz-OCTシステムに導入した。±30mmの範囲を0.2秒で計測可能となり、今後、2次元スキャナーの導入によるリアルタイム計測の実現の見通しが得られた。上記の成果に対し、国内学会の論文賞2件、海外学会の論文賞1件、ならびに招待論文2件と、高い評価が得られた。
25年度が最終年度であるため、記入しない。
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すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 4件) 学会発表 (16件) (うち招待講演 8件)
画像ラボ
巻: (出版予定)
電子情報通信学会和文論文誌B
巻: Vol.J97-B,No.3 ページ: 243-252
OSA Journal Photonics Research
巻: 投稿中 ページ: 投稿中のため未定
Opt. Lett.
巻: vol.38 ページ: 2307-2310
10.1364/OL.38.002307
IEICE Trans. Electronics
巻: Vol. E96-C, No. 10 ページ: 1210-1217