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2012 年度 実績報告書

ホログラフィックレーザープロセッシングによる元素拡散制御

研究課題

研究課題/領域番号 23246121
研究機関京都大学

研究代表者

三浦 清貴  京都大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (60418762)

研究分担者 下間 靖彦  京都大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (40378807)
坂倉 政明  京都大学, 学内共同利用施設等, 特定准教授 (90402958)
研究期間 (年度) 2011-04-01 – 2014-03-31
キーワードアモルファス材料 / フェムト秒レーザー
研究概要

昨年度、元素移動現象が主に温度勾配が駆動力となり生じていることを明らかにした。そこで、元素移動の支配要因である温度勾配(分布)の制御を目的に、まず空間光変調器(LCOS-SLM)による既存のホログラフィックレーザー集光照射システムを元素拡散制御に適したシステムとして再構築した。このシステムにより、繰り返し周波数の異なる(熱蓄積効果が異なる)フェムト秒レーザーを任意のパターンで複数同時集光照射することで、温度や圧力の分布・勾配および衝撃波の発生・伝搬等の制御が可能となり、元素分布の形状や元素移動量が制御できることを確認した。さらに、二種類のレーザー(繰り返し周波数:1 kHzと250kHz)の照射位置(集光点位置)を三次元的に相対変化させることで、リボン状の元素分布形成が可能であることも確認した。
ガラスにおける相分離現象はナノメートルからマイクロメートルスケールの多孔構造を形成するために利用されており、一般に分相ガラスは不混和組成下にあるガラスを熱処理することによってガラス全体で起こる現象であるが、ホログラフィックレーザー照射により元素分布の形状および組成比を制御することで、ガラス表面や内部において空間選択的な分相領域の形成が可能となった。さらに、このサンプルをエッチングすることで、マイクロ-TAS等への応用が期待できる共連続構造が局所選択的に形成可能であることも確認した。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

元素分布形成の主駆動力である温度勾配や分布形状を制御することを目的としたホログラフィックレーザー集光照射システムを構築することができ、このシステムを用いて元素分布の形状制御を可能とすることができた。さらに、元素分布形成により局所的なガラスの熱物性を制御することができ、概ね計画通りに進捗しているため。

今後の研究の推進方策

元素拡散による元素分布形成メカニズムの知見をもとに、構築するホログラフィックフェムト秒レーザープロセッシングシステムを活用し、実際に均質ガラス内部の特性を元素分布形成により局所的に制御することで、新しいガラス材料の各種デバイスへの応用の可能性を検証する。
具体的には、高電場領域に屈折率が高くなる元素を高濃度化させることで実現できる、任意の屈折率差と形状を有するマイクロレンズや光導波路アレイの作製、結晶化温度制御による局所領域のみの非線形光学結晶析出による波長変換素子やナノ結晶析出による発光素子、相分離温度制御による局所領域のみでの相分離形成とエッチングとを組み合わせて作製する三次元マイクロリアクターやナノフィルターへの応用、発光イオン濃度を三次元的に任意のパターンで高濃度化させるとともに、その領域を高屈折率化し光閉じ込め効果を利用することで実現する新規低発振閾値マイクロレーザーデバイス等の創製を試みる。

  • 研究成果

    (8件)

すべて 2012

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (3件)

  • [雑誌論文] Control of element distribution in glass with femtosecond laser2012

    • 著者名/発表者名
      M. Shimizu, M. Sakakura, M. Nishi, Y. Shimotsuma, K. Hirao and K. Miura
    • 雑誌名

      SPIE

      巻: 8244 ページ: 82440O-82440O-6

    • DOI

      10.1117/12.906644

  • [雑誌論文] Control of material properties by parallel laser irradiations at multiple laser spots using a spatial light modulator2012

    • 著者名/発表者名
      M. Sakakura, T. Tochio, M. Shimizu, N. Yasuda, M. Ohnish, K. Miura,Y. Shimotsuma and K. Hirao
    • 雑誌名

      SPIE

      巻: 8243 ページ: 824310-824310-8

    • DOI

      10.1117/12.912752

  • [雑誌論文] Three-dimensional temperature distribution and modification mechanism in glass during ultrafast laser irradiation at high repetition rates2012

    • 著者名/発表者名
      M Shimizu, M Sakakura, M Onishi, M Yamaji, Y Shimotsuma, K Miura and K Hirao
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: Vol.20(2) ページ: 934-940

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Transient stress imaging after irradiation with a focused fs laser pulse inside a single crystal2012

    • 著者名/発表者名
      T Tochio, M Sakakura, Y Shimotsuma, M Nishi, K Hirao and K Miura
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 51 ページ: 126602(1-6)

    • DOI

      10.1143/JJAP.51.126602

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Formation Mechanism and Applications of Laser Induced Elemental Distribution in Glasses2012

    • 著者名/発表者名
      K. Miura, M. Shimizu, M. Sakakura, T. Kurita, Y. Shimotsuma, and K. Hirao
    • 雑誌名

      PIERS ONLINE

      巻: Proceedings ページ: 18-23

  • [学会発表] Formation Mechanism and Applications of Laser Induced Elemental Distribution in Glasses2012

    • 著者名/発表者名
      K. Miura, M. Shimizu, M. Sakakura, T. Kurita, Y. Shimotsuma and K. Hirao
    • 学会等名
      Progress In Electromagnetics Research Symposium 2012(PIERS2012)
    • 発表場所
      モスクワ(ロシア)
    • 年月日
      20120819-20120823
  • [学会発表] Optical Anisotropy of Self-assembled Nanostructure in Glass2012

    • 著者名/発表者名
      Y.Shimotsuma, M.Nakabayasi, K.Miura, K.Hirao and P.G. Kazansky
    • 学会等名
      BGPP 2012 : Bragg Gratings, Photosensitivity, and Poling in glass
    • 発表場所
      コロラドスプリングス(米国)
    • 年月日
      20120617-20120621
  • [学会発表] Evolution of self-assembled nanostructure in glass2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimotsuma, T. Asai, K. Miura, K. Hirao and P. G. Kazansky
    • 学会等名
      The 13th International Symposium on Laser Precision Microfabrication(LPM2012)
    • 発表場所
      ワシントン(米国)
    • 年月日
      20120612-20120615

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公開日: 2014-07-24  

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