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2013 年度 研究成果報告書

メゾスコピッククラスタービームによる有機電子材料のダメージフリー・ナノ加工

研究課題

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研究課題/領域番号 23310080
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 ナノ材料・ナノバイオサイエンス
研究機関兵庫県立大学

研究代表者

豊田 紀章  兵庫県立大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (00382276)

研究期間 (年度) 2011-04-01 – 2014-03-31
キーワードクラスター / 有機材料 / ナノ加工 / ダメージフリー
研究概要

Ar等から形成されたメゾスコピッククラスタービームを用い、ピックアップセルを用いた混合クラスター形成や、荷電状態、クラスターサイズ、照射中雰囲気ガスなどを変化させて有機材料のダメージフリー・ナノ加工を行った。損傷評価には主としてGCIBと真空一貫で接続された光電子分光分析装置を用いた。その結果、低イオン化電子電圧による多価クラスターイオン生成の抑制や、クラスターサイズ制御、水蒸気等の雰囲気ガス制御を行うことにより、低損傷で有機材料の加工が可能であることを示した。

  • 研究成果

    (27件)

すべて 2013 2012 2011

すべて 雑誌論文 (9件) (うち査読あり 8件) 学会発表 (18件) (うち招待講演 4件)

  • [雑誌論文] Evaluation of charge state of gas cluster ions by means of individual crater observations2013

    • 著者名/発表者名
      N. Toyoda, I. Yamada
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B

      巻: 307 ページ: 269-272

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Gas cluster ion beam etching under acetic acid vapor for etch-resistant material2013

    • 著者名/発表者名
      A. Yamaguchi, R. Hinoura, N. Toyoda, K. Hara, I. Yamada
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 52 ページ: 05EB05

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Magnetic properties of Fe7Co3 films with gas clusterion beam irradiations2013

    • 著者名/発表者名
      N. Toyoda, A. Fujimoto, I. Yamada
    • 雑誌名

      Journal of applied physics

      巻: 113 ページ: 17A328

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Surface morphology and sputtering yield of SiO2 withoblique-incidence gas cluster ion beam2013

    • 著者名/発表者名
      K. Sumie, N. Toyoda, I. Yamada
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B

      巻: 52 ページ: 290-293

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Irradiation effects of gas cluster ion beamson co-fe films2013

    • 著者名/発表者名
      N. Toyoda, A. Fujimoto, I. Yamada
    • 雑誌名

      Japanese journal of applied physics

      巻: 52 ページ: 06GF01

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Reduction of irradiation damage using size-controlled nitrogen gas cluster ion beams2012

    • 著者名/発表者名
      N. Toyoda, and I. Yamada
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B

      巻: 273 ページ: 11-14

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Development of Cu Etching Using O2 Cluster Ion Beam under Acetic Acid Gas Atmosphere2012

    • 著者名/発表者名
      T. Suda, N. Toyoda, K. Hara, I. Yamada
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 51 ページ: 08HA02-1-5

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Metal etching with reactive gas cluster ion beams using pickup cell2012

    • 著者名/発表者名
      N. Toyoda, I. Yamada
    • 雑誌名

      AIP conference proceedings

      巻: 1496 ページ: 288-291

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Gas cluster ion beam technology for nano-fabrication2012

    • 著者名/発表者名
      N. Toyoda, I. Yamada
    • 雑誌名

      Advances in Science and Technology

      巻: 82 ページ: 1-8

  • [学会発表] TEM study ofirradiation effects of GCIB2013

    • 著者名/発表者名
      N. Toyoda, A. Yamaguchi, A. Fujimoto, R. Hinoura and I. Yamada
    • 学会等名
      第23回日本MRS年次大会
    • 発表場所
      横浜(神奈川)
    • 年月日
      2013-12-09
  • [学会発表] Ripple formations by gas cluster ions inambient reactive gas2013

    • 著者名/発表者名
      N. Toyoda, K. Sumie, A. Kimura, I. Yamada
    • 学会等名
      2013 JSAP-MRSジョイントシンポジウム
    • 発表場所
      同志社大学(京都)
    • 年月日
      2013-09-20
  • [学会発表] ガスクラスターイオンビーム照射によるされた DLC膜の表面の構造改質2013

    • 著者名/発表者名
      藤本昌宏、豊田紀章、山田公
    • 学会等名
      2013応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学(京都)
    • 年月日
      2013-09-19
  • [学会発表] GCIB照射によるメディア保護膜の表面平坦化効果2013

    • 著者名/発表者名
      木村旭、富田淳、豊田紀章、谷弘詞、山田公
    • 発表場所
      同志社大学(京都)
    • 年月日
      2013-09-19
  • [学会発表] Low-damage and high-rate sputtering of organic materials with GCIB under H2O vapor environment2013

    • 著者名/発表者名
      N. Toyoda, I. Yamada
    • 学会等名
      Surface modification of materials by ionbeams 2013
    • 発表場所
      クシャダシ(トルコ)
    • 年月日
      2013-09-18
  • [学会発表] In-situ XPS study of GCIB etching for materialsused in STT-MRAM2013

    • 著者名/発表者名
      R. Hinoura, N. Toyoda, I. Yamada
    • 学会等名
      ドライプロセスシンポジウム 2013
    • 発表場所
      済州島(韓国)
    • 年月日
      2013-08-30
  • [学会発表] Nano-scale surface modification and ion induced reactions withgas cluster ion beams2013

    • 著者名/発表者名
      N. Toyoda, I. Yamada
    • 学会等名
      2013春季ヨーロッパ材料学会(E-MRS)
    • 発表場所
      ストラスブール(フランス)
    • 年月日
      2013-05-28
    • 招待講演
  • [学会発表] ガスクラスターイオンビームによる磁気トンネル接合素子下の平坦化2013

    • 著者名/発表者名
      山口明良、日野浦諒、豊田紀章、原謙一、山田公
    • 学会等名
      2013応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      2013-03-29
  • [学会発表] ガスクラスターイオンビームによる磁性膜の低損傷加工2013

    • 著者名/発表者名
      藤本昌宏、木村旭、豊田紀章、山田
    • 学会等名
      2013応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      2013-03-29
  • [学会発表] ガスクラスターイオンビームエッチング後の MRAM材料の表面状態評価2013

    • 著者名/発表者名
      日野浦諒、山口明良、豊田紀章、原謙一、山田公
    • 学会等名
      2013応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      2013-03-29
  • [学会発表] Etching of FeCo films with gas cluster ion beams and their magnetic properties2013

    • 著者名/発表者名
      N. Toyoda
    • 学会等名
      12th Joint MMM-IntermagConference 2013
    • 発表場所
      シカゴ(米国)
    • 年月日
      2013-01-15
  • [学会発表] Nano-scale Surface Modification and Ion Induced Chemical Reactions with Gas Cluster Ion Beams2012

    • 著者名/発表者名
      N. Toyoda
    • 学会等名
      2nd annual world congress of nano-science and technology
    • 発表場所
      青島(中国)
    • 年月日
      2012-10-28
    • 招待講演
  • [学会発表] Gas cluster ion beam etching of metals with pick-up cell2012

    • 著者名/発表者名
      N. Toyoda and I. Yamada
    • 学会等名
      19th international conference on ionimplantation technology
    • 発表場所
      ヴァリャドリード(スペイン)
    • 年月日
      2012-06-25
  • [学会発表] Gas cluster ion beam technology for nanofabrication2012

    • 著者名/発表者名
      N. Toyoda and I. Yamada
    • 学会等名
      4th international conference smart materials,structures and systems
    • 発表場所
      モンテカッティーニテルメ(イタリア)
    • 年月日
      2012-06-11
    • 招待講演
  • [学会発表] What is the key parameter of electron ionization on crater formations on solid surface ?2011

    • 著者名/発表者名
      N. Toyoda, T. Furuya and I. Yamada
    • 学会等名
      11th Workshop on Cluster Ion Beam Technology
    • 発表場所
      京都大学品川オフィス(東京都)
    • 年月日
      2011-12-05
  • [学会発表] 雰囲気ガス中 GCIB照射された有機材料の XPSによる評価2011

    • 著者名/発表者名
      中桐基裕、豊田紀章、山田公
    • 学会等名
      2011年秋季応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学(山形県)
    • 年月日
      2011-08-30
  • [学会発表] Surface modification and interaction with gas cluster ion beams2011

    • 著者名/発表者名
      N. Toyoda and I. Yamada
    • 学会等名
      20th International Conference onIon Beam Analysis
    • 発表場所
      イタペマ(ブラジル)
    • 年月日
      2011-04-15
    • 招待講演
  • [学会発表] GCIB照射損傷のクラスターサイズ依存性の In-situXPSによる評価2011

    • 著者名/発表者名
      中桐基裕、豊田紀章、山田公
    • 学会等名
      2012年春季応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      早稲田大学(東京都)
    • 年月日
      2011-03-17

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公開日: 2015-06-25  

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