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2012 年度 実績報告書

超短パルス光干渉加工による金属周期ナノ構造の創製と表面増強ラマン散乱法への応用

研究課題

研究課題/領域番号 23360035
研究機関大阪大学

研究代表者

中田 芳樹  大阪大学, レーザーエネルギー学研究センタ, 准教授 (70291523)

研究分担者 坪井 泰之  北海道大学, 理学(系)研究科(研究院), 准教授 (00283698)
研究期間 (年度) 2011-04-01 – 2014-03-31
キーワード表面増強ラマン(SERS) / フェムト秒レーザー / 応用光学・量子光工学 / 干渉 / ナノ材料 / 金属 / 周期構造
研究概要

①大面積SERS活性サイトの作製:グラディエントフィルター(特注)を導入し、ビーム形状のトップフラット化及び加工形状の均一化を行った。さらに3次元ターゲット高速駆動装置を導入し、マルチショット加工による大面積加工が可能となった。シングルショット当たりの加工面積は約6700μm2であり、1kHzでは6.7mm2/sに相当する。実際に金薄膜を加工する事により、10mm四方に渡る金ナノドロップ周期構造を作製した。
②ピリジン(Pyridine)水溶液試料を用いたSERS測定:金ナノドロップ基板を用い、ピリジン水溶液のSERSシグナルを測定することでSERS活性能を調べた。その結果、SERSシグナルは通常のRaman散乱シグナルと比べおよそ60倍に増加していた。また、987, 1027 cm-1のラマンバンドは、SERS測定では 1007, 1029 cm-1にそれぞれシフトした。これらはSERS特有の結果であり、今回の結果から使用した基板にはSERS活性能があると結論付けられた。
③SERS活性サイトのCADモデル作成:SERS活性はナノウィスカーの方が高い可能性が有り、今後はナノウィスカー構造を用いたSERS測定を視野に入れている。準備として周期ナノウィスカー構造のCADモデルを作製した。
④透過型電子顕微鏡(TEM)によるナノウィスカー構造測定:CADモデルの精度向上のために、TEMを用いた金ナノウィスカーの構造解析を行った。フラットな中空バンプの中心に金ナノウィスカーが直立した構造が明らかになり、また頂点の曲率半径が4nmで有ることがわかり、金の多結晶構造及び双晶が発見された。
⑤第2高調波(SHG)干渉加工装置の開発:BBO非線形光学結晶による波長変換を組み合わせた干渉加工装置を構成した。その結果、レーザーの吸収効率が4から7倍に向上した(Au膜厚14nm,28nmの場合)。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

1: 当初の計画以上に進展している

理由

上記の研究実績の概要に関し、①から③の項目で当初計画を達成している。さらに加えて④ナノウィスカーのTEM測定を行った。従来はSEM画像における外観を元にCADモデルを作成していたが、今回はTEMによる高解像度測定と量子ビーム加工を組み合わせることで断面像を観察し、正確なCADモデルの作成が可能となった。また⑤SHG干渉加工装置を構成し、レーザーの吸収効率が4から7倍に向上した(Au膜厚14nm,28nmの場合)。これはSHG変換効率を考慮してもエネルギー利用効率の向上に繋がり、基本波の場合と比較して5倍前後の高速加工が期待出来る。
一方、科研費新学術領域「電磁メタマテリアル」における公募研究「超短パルス光干渉加工法を用いた新しいメタマテリアルの開発」の結果において、位相などの干渉条件を変えることで干渉パターンをデザイン出来る事が分かった。干渉パターンの一部はSERS基板の作製に利用出来る可能性があり、今後調査する。
以上より、当初計画計画を超える成果を達成した。

今後の研究の推進方策

①アポダイザー及びSLMを利用したビームのトップハット化装置について、ビームプロファイラによるビーム形状評価とSLMによるフィードバックを併用し、より高度な調整を進める。これに完成済みの3次元高速駆動装置を組み合わせることで、面積が10平方ミリメートルの大面積SERS活性基板を作製する。
②SERS活性サイトの作製と比較:SERS活性サイトの単位ナノ形状はナノドロップやナノウィスカーなどが考えられる。これらが百万個以上、10平方ミリメートルに渡りマトリクス配置した基板を作成し、昨年と同様にSERS活性能を測定し比較する。試料はピリジン(Pyridine)を用い、濃度や測定時間を変えながらSERS信号を測定することでSERS活性能を測定し、ナノ形状との関係を調べる。
③干渉理論解析結果のSERS基板作製応用へ向けたサーベイ:干渉条件変更によって干渉パターンが変化する。この中から、SERS基板として有用な干渉パターンを選別し、作製が可能な干渉条件である場合は実際にSERS基板を作製する。
③ナノ構造のCADモデル化:ナノウィスカー、ナノドロップ周期構造のCACモデル化を行う。ナノウィスカーの場合はTEM測定結果を活用する。これらによりFDTD解析の結果を得る。

  • 研究成果

    (32件)

すべて 2013 2012 その他

すべて 雑誌論文 (7件) (うち査読あり 6件) 学会発表 (22件) (うち招待講演 4件) 図書 (1件) 備考 (2件)

  • [雑誌論文] Solid-liquid-solid process for forming free-standing gold nanowhisker superlattice by interfering2013

    • 著者名/発表者名
      Yoshiki Nakata
    • 雑誌名

      Applied Surface Science

      巻: 274 ページ: 27

    • DOI

      10.1016/j.apsusc.2013.02.042

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Design of interference using coherent beams configured as a six-sided pyramid2012

    • 著者名/発表者名
      Yoshiki Nakata
    • 雑誌名

      Applied Optics

      巻: 51 ページ: 5004-5010

    • DOI

      10.1364/AO.51.005004

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Interfering Ultraviolet Femtosecond Laser Processing of Gold Thin Film and Prospect of Shortest2012

    • 著者名/発表者名
      Yoshiki Nakata
    • 雑誌名

      Applied Physics

      巻: 5 ページ: 102703(3pages)

    • DOI

      10.1143/APEX.5.102703

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Organized metamaterials comprised of gold nanoneedles in a lattice generated on silicon (100) wafer2012

    • 著者名/発表者名
      Yoshiki Nakata
    • 雑誌名

      Applied Physics A

      巻: online ページ: online(5pages)

    • DOI

      10.1007/s00339-012-7236-4

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Designing of interference pattern in ultra-short pulse laser processing2012

    • 著者名/発表者名
      Yoshiki Nakata
    • 雑誌名

      Applied Physics A

      巻: online ページ: online(6pages)

    • DOI

      10.1007/s00339-012-7239-1

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Metamaterials fabricated by interfering femtosecond laser processing with different combinations of2012

    • 著者名/発表者名
      Yoshiki Nakata
    • 雑誌名

      Proc. Laser Precision Microfabrication (LPM) 2012

      巻: 1 ページ: 199

  • [雑誌論文] Growth of periodic ZnO nano-crystals on buffer layer patterned by interference laser irradiation

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Nakamura, Tetsuya Shimogaki, Kota Okazaki, Mitsuhiro Higashihata, Yoshiki Nakata, Tatsuo Okada
    • 雑誌名

      Proc. SPIE

      巻: Vol.8607 ページ: 860703

    • DOI

      10.1117/12.2002961

    • 査読あり
  • [学会発表] Designing of meta-atoms in interfering femtosecond laser processing technique2013

    • 著者名/発表者名
      Yoshiki Nakata
    • 学会等名
      International conference on laser ablation (COLA)
    • 発表場所
      Ichia, Italy
    • 年月日
      20131006-20131011
  • [学会発表] Plasmonic device fabricated by interfering femtosecond laser processing2013

    • 著者名/発表者名
      Yoshiki Nakata
    • 学会等名
      International conference on laser ablation (COLA)
    • 発表場所
      Ichia, Italy
    • 年月日
      20131006-20131011
  • [学会発表] Design of interfenrence pattern using coherent beams2013

    • 著者名/発表者名
      Yoshiki Nakata
    • 学会等名
      Advanced Laser Technologies (ALT)
    • 発表場所
      Budva, Montenegro
    • 年月日
      20130916-20130920
    • 招待講演
  • [学会発表] Fabrication of plasmonic device by interfering femtosecond laser processing2013

    • 著者名/発表者名
      Yoshiki Nakata
    • 学会等名
      The 14th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM 2013)
    • 発表場所
      Niigata, Japan
    • 年月日
      20130723-20130726
  • [学会発表] Effect of laser irradiation on ZnO nanocrystal growth by nanoparticcle-assisted pulsed laser deposition2013

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Nakamura
    • 学会等名
      The 14th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM 2013)
    • 発表場所
      Niigata, Japan
    • 年月日
      20130723-20130726
  • [学会発表] Controlled Growth of ZnO Nanocrystals Using Laser Interference Irradiation2013

    • 著者名/発表者名
      Yuuki Muraoka
    • 学会等名
      18th OptoElectronics and Communications Conference (CLEO-PR 2013)
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 年月日
      20130630-20130704
  • [学会発表] New Evolution in Interfering Femtosecond Laser Processing2013

    • 著者名/発表者名
      Yoshiki Nakata
    • 学会等名
      18th OptoElectronics and Communications Conference (CLEO-PR 2013)
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 年月日
      20130630-20130704
  • [学会発表] New technique for the fabrication of plasmonic device2013

    • 著者名/発表者名
      Yoshiki Nakata
    • 学会等名
      The satellite international symposium of ICONO/LAT 2013 conference
    • 発表場所
      St. Petersburg
    • 年月日
      20130624-20130628
    • 招待講演
  • [学会発表] レーザー干渉加工における位相・振幅制御によるメタマテリアルの直接作製 22013

    • 著者名/発表者名
      中田芳樹
    • 学会等名
      第60回応用物理学関係連合講演会(
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      20130327-20130330
    • 招待講演
  • [学会発表] バッファ層のレーザーパターニングによるZnOナノウォールのパターン成長2013

    • 著者名/発表者名
      村岡佑樹
    • 学会等名
      第60回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      20130327-20130330
  • [学会発表] バッファ層上へのZnOナノワイヤ成長におけるレーザー照射の影響2013

    • 著者名/発表者名
      中村大輔
    • 学会等名
      第60回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      20130327-20130330
  • [学会発表] 光干渉を利用した周期構造ZnOナノ結晶作製とその光学特性2013

    • 著者名/発表者名
      中村大輔
    • 学会等名
      電気学会光量子デバイス研究会
    • 発表場所
      島根
    • 年月日
      20130308-20130308
  • [学会発表] 超短パルスレーザー干渉加工法:プラズモニクスへの応用2013

    • 著者名/発表者名
      中田芳樹
    • 学会等名
      電気学会光量子デバイス研究会
    • 発表場所
      島根
    • 年月日
      20130308-20130308
  • [学会発表] Growth of periodic ZnO nano-crystals on buffer layer patterned by interference laser irradiation2013

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Nakamura
    • 学会等名
      SPIE Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM-XVIII)
    • 発表場所
      San Francisco, USAf
    • 年月日
      20130204-20130207
  • [学会発表] レーザーを利用したZnOナノ・マイクロ構造体の作製と応用2012

    • 著者名/発表者名
      中村大輔
    • 学会等名
      レーザー学会第438回研究会
    • 発表場所
      愛媛大学
    • 年月日
      20121219-20121219
  • [学会発表] ZnOバッファ層のレーザー処理を利用したZnOナノ結晶の成長制御2012

    • 著者名/発表者名
      中尾しほみ
    • 学会等名
      応用物理学会九州支部講演会
    • 発表場所
      佐賀大学
    • 年月日
      20121201-20121202
  • [学会発表] 干渉レーザーを利用した周期構造ZnO ナノ結晶の作製法2012

    • 著者名/発表者名
      中村大輔
    • 学会等名
      第73回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      愛媛大学、松山大学
    • 年月日
      20120911-20120914
  • [学会発表] 干渉レーザー加工法に基づいた新規メタマテリアル構造の作製方法2012

    • 著者名/発表者名
      中田芳樹
    • 学会等名
      次世代ナノ技術シンポ「メタマテリアル・プラズモニックデバイスの最近の進展」
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      20120622-20120622
    • 招待講演
  • [学会発表] Metamaterials fabricated by interfering femtosecond laser processing with different combinations of laser and target parameters2012

    • 著者名/発表者名
      Yoshiki Nakata
    • 学会等名
      Laser Precision Microfabrication (LPM) 2012
    • 発表場所
      Washington, USA
    • 年月日
      20120612-20120615
  • [学会発表] Fabrication of new designed structure in lattice by interfering femtosecond laser processing2012

    • 著者名/発表者名
      Keiichi Murakawa
    • 学会等名
      8th Asia Pacific Laser Symposium (APLS) 2012
    • 発表場所
      Huangshan, China
    • 年月日
      20120527-20120529
  • [学会発表] プラズモニクス応用に向けた超短パルスレーザー干渉加工法の開発2012

    • 著者名/発表者名
      中田芳樹,松葉良生,村川惠一,宮永憲明
    • 学会等名
      エクストリームフォトニクス研究会
    • 発表場所
      理研東京事務所
    • 年月日
      2012-12-21
  • [学会発表] 超短パルスレーザー干渉加工における新展開-プラズモニクス応用に向けて-2012

    • 著者名/発表者名
      中田芳樹,松葉良生,村川惠一,宮永憲明
    • 学会等名
      レーザー学会第438回研究会
    • 発表場所
      愛媛大学
    • 年月日
      2012-12-19
  • [図書] Ultrafast Laser Processing: From Micro- to Nanoscale2013

    • 著者名/発表者名
      Koji Sugioka
    • 総ページ数
      300
    • 出版者
      Pan Stanford Publishing
  • [備考] 応用物理学会春季学術講演会第1回フォトコンテスト(ダブル受賞)

    • URL

      http://www.ile.osaka-u.ac.jp/research/lcc/Photocontest1JSAP2013Mar.html

  • [備考] 電磁メタマテリアル

    • URL

      http://www.metamate.net/index.html

URL: 

公開日: 2014-07-24  

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