| 研究課題/領域番号 |
23360065
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| 研究機関 | 東京工業大学 |
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研究代表者 |
吉野 雅彦 東京工業大学, 理工学研究科, 教授 (40201032)
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| 研究分担者 |
松村 隆 東京電機大学, 工学部, 教授 (20199855)
梅原 徳次 名古屋大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (70203586)
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| 研究期間 (年度) |
2011-04-01 – 2014-03-31
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| キーワード | マイクロ・ナノデバイス / 機械加工 / 先端機能デバイス / ナノ材料 / 超精密加工 / 光学機能 |
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| 研究概要 |
(1)マスターモールドの製作：ナノインプリント用の薄膜モールドのマスターモールドを超精密切削加工により作成する方法を検討した。V型ダイヤモンドバイトを用いて深さ100nm、間隔1000nmの微細溝列の切削加工を試みた。素材として石英ガラス板を用い、均一な微細溝が加工できることを確認した。しかし10mm角の大面積を加工すると、工具摩耗により溝形状が変化してしまうことが分かった。さらに被削材と切削方向の平行を高精度で調整する技術が必要なことが明らかになった。
(2)ナノインプリント用薄膜モールドの作成：マスターモールドに硬質薄膜をコーティングして、その膜を剥離することにより凹凸を反転させたナノインプリント用薄膜モールドを作成する方法を検討した。スパッターまたはNiめっきでマスターモールドに直接コーティングすると、膜の剥離時にマスターモールドを損傷してしまうという問題がある。そこでマスターモールドからPMMA膜、PMMAからUV硬化樹脂膜、さらにUV硬化樹脂膜からNiめっき膜に微細形状を転写する方法を試みた。その結果、転写ごとに形状精度が低下し、最終的なNiモールドでは構造高さが1/10程度まで低下することが分かった。
(3)ナノドットアレイの光学機能デバイスへの応用：焼鈍法で石英基板上に作成した金ナノドットアレイのSERS基板への応用を検討した。作成した金ナノドットアレイがSERS効果を示すことを確認した。さらにその効果を増大させるため二段重ねのナノドットアレイを作成し、十分大きなSERS効果が得られることを確認した。
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| 現在までの達成度 (区分) |
理由
25年度が最終年度であるため、記入しない。
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| 今後の研究の推進方策 |
25年度が最終年度であるため、記入しない。
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