横方向空間分解能が高い広視野レーザ顕微鏡は,高さ方向の分解能は数μmにとどまっている.そこで,高さ方向の分解能をnmレベルに向上させるた,レーザ光の位相を利用するできるように装置を改良した.試作した装置を用いてSUS304製円筒試験片の表面観察を行った.その結果,円筒面全面にわたり明瞭か干渉縞を得ることに成功した.円筒の表面形状を決定するために,干渉縞の画像解析手法を開発した.その結果,円筒面の表面形状を3次元表示することができた.これにより,短時間で円筒面全面の形状を計測する手法が開発できた.
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