| 研究課題/領域番号 |
23360108
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(B)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
知能機械学・機械システム
|
|---|
| 研究機関 | 山形大学 |
|---|
研究代表者 |
峯田 貴 山形大学, 理工学研究科, 教授 (50374814)
|
|---|
| 研究分担者 |
古屋 泰文 弘前大学, 北日本新エネルギー研究所, 教授 (20133051)
熊木 治郎 山形大学, 大学院・理工学研究科, 教授 (00500290)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2011-04-01 – 2014-03-31
|
| キーワード | AFM / デュアルカンチレバー / 磁歪薄膜 / 近接探針 / ナノ加工 / その場計測 / 低ノイズ変位機構 |
|---|
| 研究概要 |
原子間力顕微鏡(AFM) 技術は計測手段としてのみならず，先鋭なナノ探針先端を用いた生体高分子の分子サージャリなど，分子科学領域での新しいナノツールとして発展が期待される。ナノ加工とその場での高解像計測を両立するために，本研究では，ナノニードル(探針)を2本のカンチレバー先端に配置したデュアルプローブを形成し、ナノ加工用と計測用に使い分ける機構を開発した。先鋭な探針先端を500 nmまで近接して形成する自己整合プロセスを開発し，また，直交配置したマイクロカンチレバーへFePd磁歪薄膜を積層形成し，低ノイズで探針切り替え可能な外部磁場による変位機構をもつデュアルAFMプローブを開発した。
|
