研究課題
基盤研究(B)
MEMミラーデバイスの低コスト化と大偏向角化を目指し、ポリマー材料を用いたデバイス構造の提案と実現技術を研究した。構成は、感光性ポリマーを用いた電磁駆動型ミラーと、磁性粒子を含有したSU-8を用いた外部磁気駆動型ミラーである。ポリマーの機械的特性を評価しこれに基づきデバイス設計を行った。その結果、簡易化プロセスにより低コスト化が可能で、静的駆動偏向角は20度以上可能であることを示し、目標を達成できる技術を実現した。
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Journal of Micromechanics and Microengineering
巻: Vol.23 ページ: 105016(10)
10.1088/0960-1317/23/10/105016