| 研究課題/領域番号 |
23360136
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子・電気材料工学
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| 研究機関 | 京都工芸繊維大学 |
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研究代表者 |
山下 馨 京都工芸繊維大学, 工芸科学研究科, 准教授 (40263230)
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| 研究分担者 |
藤田 孝之 兵庫県立大学, 工学研究科, 准教授 (50336830)
野田 実 京都工芸繊維大学, 工芸科学研究科, 教授 (20294168)
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| 研究期間 (年度) |
2011-04-01 – 2014-03-31
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| キーワード | 圧電体 / 強誘電体 / MEMS / 共振 / 分極 / 応力 |
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| 研究概要 |
強誘電体の圧電性と分極履歴特性を利用して振動型のMEMS（微小電気機械システム）デバイスの高性能化を図った。圧電体層を含む平板形状の振動体において，まず電界印加により生ずる逆圧電効果による応力を利用して振動体の共振周波数を制御し，また振動体の形状が共振周波数制御性に与える影響を明らかにした。次いで電界印加が逆圧電応力による振動体の形状変化と分極整列による圧電性向上を通してMEMSセンサデバイスとしての性能に与える影響を明らかにした。これらを踏まえて，具体的MEMSデバイスとして超音波アレイセンサを取り上げ，感度の向上手法と共振周波数制御による超高分解能計測手法を提案した。
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