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2012 年度 実績報告書

相変化マスクを用いた近赤外半導体ナノイメージング分光法と量子状態制御法の開発

研究課題

研究課題/領域番号 23360141
研究機関慶應義塾大学

研究代表者

斎木 敏治  慶應義塾大学, 理工学部, 教授 (70261196)

研究期間 (年度) 2011-04-01 – 2014-03-31
キーワード量子ドット / 相変化材料 / 近接場光学 / 応力光学
研究概要

カルコゲナイド相変化材料(GeSbTe)薄膜を光学マスクとした高分解能近赤外ナノ分光法の開発に前年度に引き続き取り組んだ。高光透過性を有するアモルファス化領域を開口として機能させ、空間分解分光を行った。観察対象としては1.3~1.5umにて発光するInAs/InP量子ドットを用意し、その上にGeSbTe薄膜を成膜した。GeSbTe膜厚、ならびにアモルファス化条件(レーザフルエンス・照射回数)を最適化することにより、前年度より小さく、安定したアモルファス開口形成が実現した。さらに金属遮光膜を施さない近接場プローブを用いて光をサブ波長まで集光する技術と組み合わせることにより、より小さなアモルファス開口が形成でき、空間分解能が大幅に向上することを確認した。
相変化時の体積変化にともなう応力印加を利用した量子ドット発光エネルギー制御法の高度化を推進した。GeSbTe膜上にSiO2を成膜し、応力が主に量子ドット側に印加されるよう工夫した。複数パルス照射によるアモルファス化・結晶化(フルエンスで調整)によって、段階的かつ可逆的な発光ピークシフトが確認され、精度良く所望の発光エネルギーを得ることを確認した。最大エネルギーシフト量としては2meVという値が得られた。また、相変化にともなう発光エネルギーのシフト方向がドットごとに異なることが見い出された。応力分布のシミュレーションにより、相変化箇所(応力印加箇所)とドット位置の相対的な関係に依存して、両方向のシフトが再現され、実験と整合する結果が得られた。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

光学マスクによる空間分解能(アモルファス開口サイズ)は当初の計画通りの値が達成されている。イメージングに関しても、開口の形成・消去を安定に行うことができており、予定していた予備実験を終えた。
局所応力印加による発光ピークシフトについても、計画立案時に期待していた段階的、可逆的シフトを確認することができた。応力印加にともなってレッドシフト、ブルーシフトの両方向の変化が得られることは想定外であったが、応力シミュレーションによりこの振る舞いを説明することができた。

今後の研究の推進方策

高分解能化・高コントラスト化に向けて、相変化材料の組成を検討する。特に、GeSbTeよりも相変化しきい値が明瞭だと予想されるGeTeを中心に検討する。また、ドーナツビーム照射加熱による結晶化と組み合わせることにより、さらに小さなアモルファス開口形成を目指す。
これまでの予備実験をもとに、アモルファス開口の形成と結晶化による消去を繰り返すことによって開口を走査し、イメージング分光を実証する。
近接場光学顕微鏡を用い、相変化箇所の周辺でスペクトルのマッピングを行い、応力分布シミュレーションから推測されるピークシフトと対比する。
精密な応力印加により隣接する複数の量子ドットの量子準位を独立にチューニングし、ドット間の相互作用を制御することを試みる。超放射や準位反発などの現象の観測を視野に入れる。

  • 研究成果

    (7件)

すべて 2013 2012

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (5件) (うち招待講演 1件)

  • [雑誌論文] Local control of emission energy of semiconductor quantum dots using volume expansion of a phase-change material2013

    • 著者名/発表者名
      M. Takahashi, Nurrul Syafawati Humam, N. Tsumori, T. Saiki, P. Regreny, and M. Gendry
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett

      巻: 102 ページ: 093120/1-3

    • DOI

      10.1063/1.4795291

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Lateral variation of interface disorder in the wetting layer on the formation of InAs/InP quantum dots visualized by near-field imaging spectroscopy2012

    • 著者名/発表者名
      H. Tojinbara
    • 雑誌名

      Journal of Nanophotonics

      巻: 6 ページ: 063521/1-7

    • DOI

      10.1117/1.JNP.6.063521

    • 査読あり
  • [学会発表] 近接場ファイバプローブを用いた相変化マスク顕微分光の高分解能化2013

    • 著者名/発表者名
      佐藤悠
    • 学会等名
      第13回レーザー学会東京支部研究会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      20130313-20130313
  • [学会発表] 相変化材料を用いたアクティブ・ナノフォトニクス2013

    • 著者名/発表者名
      斎木敏治
    • 学会等名
      日本学術振興会アモルファス・ナノ材料第147委員会第119回研究会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      20130205-20130205
    • 招待講演
  • [学会発表] Spatially inhomogeneous stress impression on semiconductor quantum dots using volume expansion of phase change material2012

    • 著者名/発表者名
      M. Takahashi
    • 学会等名
      The 22th Symposium on Phase Change Optical Information Storage
    • 発表場所
      Atami
    • 年月日
      20121129-20121130
  • [学会発表] Possibility of Emission Energy Control of Individual Quantum Dots using Volume Expansion of Phase Change Material2012

    • 著者名/発表者名
      Nurrul Syafawati Binti Humam
    • 学会等名
      第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      松山
    • 年月日
      20120911-20120914
  • [学会発表] Active nanophotonics with chalcogenide phase-change materials2012

    • 著者名/発表者名
      T. Saiki
    • 学会等名
      The 2nd Sweden-Japan Workshop on Nanophotonics and Related Technologies
    • 発表場所
      Kista, Sweden
    • 年月日
      2012-06-18

URL: 

公開日: 2014-07-24  

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