研究課題
３年目は、立ち上げた統合設計技術の体系化および個別モデル化の推進を行うと共に、マルチフィジックス理工学の基盤構築を推進した。さらに、新たにエナージーハーベスティングデバイスのモデル化と試作に着手した。また、センサの試作の実施および試作結果の評価を行った。以下に具体的に箇条書きで示す。（１）試作した0.35μmBiCMOSLSIセンサ回路上にMEMSデバイスの試作を実施した。試作後評価を行いセンサ回路および加速度センサの動作を確認した。特に、センサの構造に設けたストッパー効果による実験的な挙動をシミュレーションにより表現できることを実証し、加速度センサの設計に用いた等価回路の妥当性を確認した。（２）CMOS-MEMSセンサ用のセンサ回路を提案し、試作および実験によりセンサ回路の動作を確認した。本回路によりCMOS-MEMSに搭載されていかなるMEMSのセンシングを可能にできる見通しを得た。（３）エネルギーハーベストデバイスのモデル化の検討を行い、世界で初めて等価回路モデルを提案した。実際にデバイスを設計し試作を行った。デバイスの評価結果により等価回路および設計論の妥当性を確認した。今後CMOS-MEMSエネルギーハーベスティングデバイスを実現するための基礎技術の構築を行った。（４）エネルギーハーベスティングデバイス用の整流回路、電源回路の設計試作を実施した。（５）エネルギーハーベスティングデバイスの評価系を立ち上げた。（６）加速度センサに関して１．０G以下の低Gデバイスの試作評価を行い、動作を確認し世界で初めて超小型の低Gデバイスを開発した。（７）アレイ型加速度センサの最終形態として多軸によるアレイ型を検討した。2軸および3軸の加速度センサを設計し、試作を実施した。さらに、試作後の評価結果により動作を確認した。以上により人体行動検知システムのための要素技術の構築を実現した。
25年度が最終年度であるため、記入しない。
すべて 2014 2013
すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (21件) (うち招待講演 2件)
Applied Physics Letters
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