| 研究概要 |
本研究は新しい人体検知用CMOS-MEMSを提案・実施した。成果は、i)回路シミュレータ上でMEMSとLSIを同時にシミュレーションしかつレイアウト可能な方法を世界で初めて構築,ii)新たなMEMSを提案し、設計・試作実証,iii)アレイ型MEMS加速度センサの検討を行い、1Gから20Gまでの検出実現,iv) Sub-1Gの加速度センサを検討し1mm角でセンサ感度0.78μｇ/Hz1/2を実現,v)汎用センサ回路を提案検討し、試作実証,vi)振動発電デバイスを提案し、2x4mm角、周波数88Hz、電力0.43μWの設計値取得、である。以上から、CMOS-MEMSの基本技術構築をできたと考える。
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