研究課題
基盤研究(B)
高密度エネルギー(HDE)素材表面成形技術を適用した高精度かつ高効率な加工プロセスを開発した.超音波振動などを利用して高密度エネルギーを素材表面に集中させることにより,表面局部に限定した材料変形を誘起し,素材表面の平滑化や微小パターンの転写加工に成功した.さらに,その変形メカニズムを明確にした.素材のマイクロ化に伴う比表面積増大及び熱容量の低減などの寸法効果を利用した最適プロセス設計を行った.
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すべて 雑誌論文 (7件) (うち査読あり 7件) 学会発表 (11件) (うち招待講演 1件)
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