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本研究では、電子密度のモニタが可能なマイクロ波共振器プローブに着目し、大気圧などの高圧力プラズマなどの材料プロセスプラズマへの適用を目指したプローブの機能拡張を試みた。マイクロ波共振器プローブで得られる共振スペクトルは、高圧力プラズマでは電子密度とともに拡がり、電子密度のモニタに利用できることを示唆する結果が得られた。そして測定精度向上に、プラズマが生成されていないときの共振幅を考慮することの有効性を示した。また機能拡張として、繰り返しパルス放電プラズマでの高精度測定を行うための条件や、プローブ先端に光ファイバーを組み込み、電子密度と中性の反応性粒子の同時モニタリングの可能性を明らかにした。
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