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2012 年度 実施状況報告書

時分割圧電力顕微法による強誘電ポリマー薄膜の超高速スイッチングの研究

研究課題

研究課題/領域番号 23550254
研究機関(財)小林理学研究所

研究代表者

古川 猛夫  (財)小林理学研究所, その他部局等, 主任研究員 (90087411)

研究分担者 児玉 秀和  (財)小林理学研究所, その他部局等, 研究員 (60373198)
キーワード強誘電ポリマー / フッ化ビニリデン / 分極反転 / スイッチング / 高分子薄膜 / 圧電力顕微鏡 / 分極ドメイン / 核生成成長
研究概要

強誘電ポリマーを代表するフッ化ビニリデン系共重合体の超薄膜について,分極反転の素過程及び核生成成長機構による微視的ダイナミクスを明らかにするために,時分割圧電力顕微鏡(TR-PFM)による分極反転過程の高精度測定を行う.これまで我々は,400MV/m以上の高電場で分極反転の速さの指標となるスイッチング時間が10nsより短くなること,スイッチング時間で電場依存性が指数側からべき乗則への移行がみられることを報告してきた.また,TR-PFMによる直接観測により,分極反転が低分子強誘電体と同様の核生成成長機構により進行することを示すことができた.本研究では,指数側からの離脱が起きる超高電場における超高速分極反転に焦点を絞り,時間領域スイッチング特性のさらなる高精度測定と,TR-PFMによる直接観測により,核生成成長過程の質の変化を特定することを主たる目的にしている.1GV/mに至る超高電場における1nsを越える超高速スイッチング測定は,加熱等による絶縁破壊と検出システムの速度の限界との戦いになる.昨年度では高速測定のための基幹システムとして,4GHz帯域幅オシロスコープと3.5GHz帯域差動アクティブプローブを中心に構築することができた.本年度では,ファンクションジェネレータと水銀リレーの組み合わせにより,立ち上がり時間300psの高速パルスを確認するとともに,キャパシターの併用による単幅パルスの実現を目指した.実験を進めるに当たり,不可欠な難題である超高電場の絶縁破壊に耐える良質な超薄膜の実現である.現在40nmで薄膜効果を最小限に抑えた試料の作成に成功し,超高速スイッチング時間の温度依存性の測定に成功した.

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

超高電場 (1GV/m) 超高速 (1ns) スイッチングの測定に伴う具体的な問題点を整理し,遅速化の傾向はあるが,明らかな進展がみられた.高速化の具体的な問題点は,主として浮遊インダクタンスに起因し,従来より厳密な臨界減衰条件の実現を目指した.厚さ40nmの良質な試料の作成条件を見出し,ペルチエ素子上に高陸した試料系について,スイッチング時間の指数側からべき乗則への移行を,-50℃から75℃の広い範囲において確認することができた.温度依存性は核生成成長機構に本質的に重要な情報を提供する.TR-PFMを行う現有するプローブについては再調整が必要なことが判明し.本年度は必要な修理を行った.高速TR-PFMにおける時分割に必要とする数ナノ秒極短パルスの実現については,条件だしを含め現在なお進行中である.

今後の研究の推進方策

最終年度である今年度は,これまでに発展させた個々の構成要素技術を組み合わせ,さらに進行中の超短高電場パルスの実現とプローブ顕微鏡の性能アップを図り,目標とする分極反転を支配する核生成成長過程の微視的機構の解明に向けて努力する.具体的には,核生成確率と成長速度の電場及び温度依存性の分離,さらには超高電場における成長次元の変化に関する情報の獲得を目標としている.情報の多面化のために,これまで中心となっていたVDF/TrFE共重合体以外に,四フッ化エチレン(TeFE)との共重合体についても実験を行う.最も古典的なPVDFホモポリマーは,少なくとも4つの結晶多形をもつ複雑性と薄膜化が困難であるが,機能材料としてはよりポテンシャルを有することから,積極的にチャレンジしたいと考えている.

次年度の研究費の使用計画

研究遂行のための消耗品として液体窒素,回路部品,機構部品にあてる.回路部品では超高速パルス発生装置ならびに電荷検出のための回路作成に当てる.機構部品では薄膜作成のための基盤や材料,PFMやSPM用針の購入にあてる.当研究発表として学会発表を進んで行うため学会発表のための旅費を計上した.

  • 研究成果

    (4件)

すべて その他

すべて 学会発表 (4件)

  • [学会発表] 高分子強誘電体VDF/TrFE共重合体薄膜における高速分極反転特性の温度依存性

    • 著者名/発表者名
      石井肇, 中嶋宇史, 岡村総一郎, 古川猛夫
    • 学会等名
      第29回強誘電体応用会議
    • 発表場所
      コープイン京都
  • [学会発表] VDF/TrFE共重合体薄膜の超高電場下における分極反転機構

    • 著者名/発表者名
      石井 肇,中嶋宇史,古川猛夫,岡村総一郎
    • 学会等名
      第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛大学・松山大学
  • [学会発表] 融解状態を経て形成されたVDF/TeFE共重合体薄膜における強誘電特性・微構造の結晶化条件依存性

    • 著者名/発表者名
      中川佑太,石井 肇,中嶋宇史,古川猛夫,岡村総一郎
    • 学会等名
      第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛大学・松山大学
  • [学会発表] Polarization Switching Properties of Metal-Ferroelectric-Semiconductor Capacitor with Ferroelectric VDF/TrFE copolymer Thin Film

    • 著者名/発表者名
      T. Nakajima, H. Yamaguchi, H. Ishii, T. Furukawa and S. Okamura
    • 学会等名
      IUMRS-International Conference on Electronic Materials (IUMRS-ICEM 2012)
    • 発表場所
      パシフィコ横浜

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公開日: 2014-07-24  

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