研究課題
基盤研究(C)
有機半導体は、無機材料と大きく異なっているために半導体工学での常識が見落とされがちである。しかしながら、これまで我々は、半導体テクノロジーの範疇に収まることを示してきた。マルチチャンネルプレートRHEED観察装置について、レイヤーバイレイヤー成膜技術の向上のために、装置構造の改良を行った。具体的には、マルチチャンネルプレートを用いた高感度スクリーンのデータ取り込みについて、画像取り込みボードをこれまでの256階調から1024階調に変更した。これによって、ダイナミックレンジが広がり、基板由来のピークと薄膜由来のピークの強度がかなり異なる場合でも製膜開始時から同一の光量調整で測定出来る様になった。
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