2013 年度研究成果報告書

電子線トモグラフィー用ビデオレートフォーカスシステムの開発

研究課題

研究課題/領域番号	23560024
研究種目	基盤研究(C)
配分区分	基金
応募区分	一般
研究分野	薄膜・表面界面物性
研究機関	大阪大学
研究代表者	西竜治大阪大学, 超高圧電子顕微鏡センター, 准教授 (40243183)
研究分担者	吉田清和超高圧電子顕微鏡センター, 特任研究員 (50263223)
研究期間 (年度)	2011 – 2013
キーワード	電子線トモグラフィー / 超高圧電子顕微鏡 / オートフォーカス / 自動撮影 / 画像鮮鋭度
研究概要	超高圧電子顕微鏡トモグラフィーは医学・生物学系試料の3次元構造を観察することに有用である。その撮影は数十枚以上の試料傾斜角を少しずつ変えた像が必要であり、数マイクロメートルの機械的回転精度より良い精度で、オートフォーカスおよび視野位置補正を自動的に行い、傾斜像シリーズの撮影の大幅な高速化を実現した。4000×4000ピクセルの61枚のCCD画像からなるトモグラフィー傾斜シリーズを取り込むのに従来の半分の30分で完了する。