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様々な生産現場において細管内などの狭い部分の表面粗さを測定したいという要求がある。しかし、現在、径が数mm以下の細管内の表面粗さを測定する際には、小さなスタイラスを用い細管の端部の数mmの領域を測定するのが限界である。細管の奥の方の表面粗さを測定する場合には、管を割り破壊検査をするしかない。
著者らは先端加工ファイバと円筒状反射鏡を用いた新しい表面あらさ検出用のセンサを提案する。開発したセンサの測定範囲は8ミクロン、精度は19nmであった。また、開発したセンサを用いて細管内を測定するためのキャリッジ部分を製作した。
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