結晶系太陽電池ウェハ加工用ダイヤモンドワイヤ工具の高速作製法の開発とその加工特性

2013 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 23560138
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 金沢工業大学
• 研究代表者: 諏訪部 仁 金沢工業大学, 工学部, 教授 (40202139)
• 研究期間 (年度): 2011 – 2013
• キーワード: スライシング加工 / ワイヤソー

研究概要

結晶系太陽電池ウェハーのスライシング加工には，マルチワイヤソーが用いられている．本方法には遊離砥粒方式と固定砥粒方式があり，ダイヤモンド砥粒を固着したワイヤ工具を利用した固定砥粒方式が注目されている．
本申請課題では，固定砥粒方式のワイヤソー切断において，ワイヤコスト低減，切断性能の向上や切断代の減少を目指して，ダイヤモンドワイヤ工具の高速作製法の開発並びに固定砥粒方式の加工精度等の加工特性に与える影響因子を実験的に検討し，高能率切断の可能性を示した．

研究成果

• [雑誌論文] 回転ドラム式メッキ装置によるダイヤモンドワイヤ工具の高速作製法の開発に関する研究 (2012)
  • 著者名/発表者名: 諏訪部仁,秋充,石川憲一
  • 雑誌名: 砥粒加工学会誌 巻: 56, 10 ページ: 703-708
  • 査読あり
• [学会発表] 揺動振動援用マルチワイヤソーの加工部における空気挙動に関する研究 (2014)
  • 著者名/発表者名: 四田一高,諏訪部仁,石川憲一
  • 学会等名: 精密工学会春季大会学術講演会
  • 発表場所: 東京大学(東京都文京区)
  • 年月日: 2014-03-19
• [学会発表] ダイヤモンドワイヤ工具の表面性状が切断加工特性に与える影響 (2013)
  • 著者名/発表者名: 松川和平,諏訪部仁,石川憲一
  • 学会等名: 砥粒加工学会学術講演会
  • 発表場所: 日本大学(東京都千代田区)
  • 年月日: 2013-08-27
• [学会発表] ダイヤモンドワイヤ工具を用いた切断加工の加工特性に関する研究 (2013)
  • 著者名/発表者名: 三田村貴博,諏訪部仁,石川憲一
  • 学会等名: 日本機械学会関西支部第88期定時総会講演会
  • 発表場所: 大阪工業大学(大阪府大阪市)
  • 年月日: 2013-03-17
• [学会発表] ダイヤモンドワイヤ工具を用いたシリコンの高精度切断加工に関する研究 (2012)
  • 著者名/発表者名: 三田村貴博,諏訪部仁,石川憲一
  • 学会等名: 砥粒加工学会学術講演会
  • 発表場所: 同志社大学(京都府京田辺市)
  • 年月日: 2012-08-29
• [学会発表] ツインドラム式電着装置によるダイヤモンドワイヤ工具の高速作製と切断性能の評価 (2012)
  • 著者名/発表者名: 三田村貴博,諏訪部仁,石川憲一
  • 学会等名: 砥粒加工学会研究・開発成果発表会講演会
  • 発表場所: 金沢工業大学(石川県野々市市)
  • 年月日: 2012-07-06
• [学会発表] ツインドラム式メッキ装置によるダイヤモンドワイヤ工具の高速作製に関する研究 (2012)
  • 著者名/発表者名: 秋充,諏訪部仁,石川憲一
  • 学会等名: 日本機械学会北陸信越支部第49期総会・講演会
  • 発表場所: 金沢工業大学(石川県野々市市)
  • 年月日: 2012-03-10
• [学会発表] 電着ダイヤモンド工具の高速作製用メッキ装置の開発に関する研究 (2011)
  • 著者名/発表者名: 秋充,諏訪部仁,石川憲一
  • 学会等名: 砥粒加工学会学術講演会論文集
  • 発表場所: 中部大学(愛知県春日市)
  • 年月日: 2011-09-07