アルミニウムナノインプリント法によるダイヤモンドエミッタの開発

2013 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 23560144
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 舞鶴工業高等専門学校
• 研究代表者: 清原 修二 舞鶴工業高等専門学校, 電子制御工学科, 准教授 (40299326)
• 研究分担者: 石川 一平 舞鶴工業高等専門学校, 電子制御工学科, 講師 (10511735)
• 研究期間 (年度): 2011 – 2013
• キーワード: ナノインプリント / ダイヤモンドライクカーボン / ナノ加工 / ポリシロキサン / 酸素イオンシャワー / ガラス状炭素

研究概要

GLCドットアレイモールドを用いたRTCIL （room-temperature curing imprint-liftoff）法により，DLCドッアレイパターンの形成を行った結果，以下のことが得られた。RTCIL法の最適インプリント条件は，保持時間5 min，インプリント圧力0.5 MPaであった。アルミニウム膜に対するDLC膜の選択比は，酸素イオンエネルギー400 eVで最大35となり，高さ400 nmを得るためのアルミニウムの膜厚は20 nmであることがわかった。この手法により，5 µm角，高さ400 nmの凸形状のDLCドットアレイパターンを形成することができた。

研究成果

• [雑誌論文] PDMSモールドを用いた室温硬化ナノインプリント法によるDLCのナノ加工技術 (2014)
  • 著者名/発表者名: 清原修二,石川一平,松田将平
  • 雑誌名: コンバーテック 巻: Vol.42,No.3 ページ: 36-40
• [雑誌論文] 室温ナノインプリント法によるDLCの超微細加工 (2013)
  • 著者名/発表者名: 清原修二,石川一平,松田将平
  • 雑誌名: NEW DIAMOND 巻: Vol.29,No.4 ページ: 24-26
• [雑誌論文] Fabrication of Micro-OLEDs by Room-temperature Curing Contact-imprint Using DLC Molds (2013)
  • 著者名/発表者名: I. Ishikawa, K. Sakurai, S. Kiyohara, C. Ito, H. Tanoue, Y. Suda, H. Takikawa, Y. Taguchi, Y. Sugiyama, Y. Omata, Y. Kurashima
  • 雑誌名: Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 巻: Vol.1511 ページ: mrsf12-1511-ee05-03
  • DOI: 10.1557/opl.2012.1711
  • 査読あり
• [雑誌論文] Nanofabrication of DLC-dot Arrays by Room-temperature Curing Imprint-liftoff Method (2013)
  • 著者名/発表者名: S. Kiyohara, S. Matta, I. Ishikawa, H. Tanoue, H. Takikawa, Y. Taguchi, Y. Sugiyama, Y. Omata, Y. Kurashima
  • 雑誌名: Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 巻: Vol.1511 ページ: mrsf12-1511-ee05-02
  • DOI: 10.1557/opl.2013.15
  • 査読あり
• [雑誌論文] Fabrication of DLC-based Micro-gear patterns by Room-temperature Curing Nanoimprint Lithography Using Glass-like Carbon Molds (2013)
  • 著者名/発表者名: S. Kiyohara, T. Ikegaki,I. Ishikawa,H. Tanoue, H. Takikawa,Y. Taguchi,Y. Sugiyama,Y. Omata,Y. Kurashima
  • 雑誌名: Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 巻: Vol.1511 ページ: mrsf12-1511-ee05-01
  • DOI: 10.1557/opl.2013.21
  • 査読あり
• [雑誌論文] Fabrication of Diamond Nanopit arrays by Room-temperature Curing Nanoimprint Lithography Using Glass-like Carbon Molds (2012)
  • 著者名/発表者名: S. Kiyohara, C. Ito, I. Ishikawa, H. Takikawa, Y. Taguchi, Y. Sugiyama, Y. Omata and Y. Kurashima
  • 雑誌名: Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 巻: Vol.1395 ページ: 27-32
  • 査読あり
• [学会発表] はしご型HSQを用いた室温硬化ナノインプリント法による超微細有機ELの開発 (2013)
  • 著者名/発表者名: 松本拓也,石川一平,清原修二,櫻井圭輔,田上英人,須田善行,滝川浩史,渡邊雅彦,杉山嘉也,小俣有紀子,倉島優一
  • 学会等名: 日本高専学会第19回年会講演会
  • 発表場所: 高知工業高等専門学校
  • 年月日: 2013-08-31
• [学会発表] 室温硬化ナノインプリント法による有機EL超微細加工に関する研究 (2013)
  • 著者名/発表者名: 櫻井圭輔,石川一平,清原修二,田上英人,須田善行,滝川浩史,田口佳男,杉山嘉也,小俣有紀子,倉島優一
  • 学会等名: 2013年度精密工学会関西地方定期学術講演会
  • 発表場所: 大阪工業大学大宮キャンパス
  • 年月日: 2013-06-14
• [学会発表] はしご型HSQを用いたPDMSモールド室温硬化ナノインプリント法によるDLCナノドットアレイのパターン形成 (2013)
  • 著者名/発表者名: 松田将平,清原修二,石川一平,田上英人,滝川浩史,田口佳男,杉山嘉也,小俣有紀子,倉島優一
  • 学会等名: 2013年度精密工学会関西地方定期学術講演会
  • 発表場所: 大阪工業大学大宮キャンパス
  • 年月日: 2013-06-14
• [学会発表] DLCモールドを用いた室温硬化ナノインプリントリソグラフィによる超微細有機ELの作製 (2013)
  • 著者名/発表者名: 櫻井圭輔,石川一平,清原修二,田口佳男,杉山嘉也,小俣有紀子,田上英人,須田善行,滝川浩史,倉島優一
  • 学会等名: ナノ学会第11回大会
  • 発表場所: 東京工業大学百年記念館
  • 年月日: 2013-06-07
• [学会発表] 室温硬化インプリント-リフトオフ法によるDLCドットアレイの作製 (2013)
  • 著者名/発表者名: 松田将平,清原修二,石川一平,田口佳男,杉山嘉也,小俣有紀子,田上英人,滝川浩史,倉島優一
  • 学会等名: ナノ学会第11回大会
  • 発表場所: 東京工業大学百年記念館
  • 年月日: 2013-06-06
• [学会発表] Patterning of Tetrahedral Amorphous-Carbon Film by Electron Beam Lithography and Pick Up from Si-Wafer in Focused Ion Beam System (2012)
  • 著者名/発表者名: H. Tanoue, T. Kashiwagi, H. Okuda, Y. Suda, H. Takikawa, M. Kamiya, S. Kiyohara, T. Kawashima, T. Shibata, Y. Taguchi, Y. Sugiyama, Y. Omata, M. Taki, Y. Hasegawa, N. Tsuji and T. Ishikawa
  • 学会等名: 4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
  • 発表場所: Chubu University, Aichi, Japan(5p-C02OC)
  • 年月日: 20120304-08
• [学会発表] 水素フリー高密度DLC膜のパターニング,単離およびハンドリング (2012)
  • 著者名/発表者名: 田上英人,柏木大幸,奥田浩史,須田善行,滝川浩史,川島貴弘,柴田隆行,清原修二,田口佳男,杉山嘉也,小俣有紀子,神谷雅男,瀧真,長谷川祐史,辻信広,石川剛史
  • 学会等名: 2012年春季第59回応用物理学関係連合講演会講演予稿集,応用物理学会
  • 発表場所: 早稲田大学
  • 年月日: 20120300
• [学会発表] Fabrication of DLC-based Micro-gears by Room-temperature Curing Nanoimprint Lithography Using Glass-like Carbon Molds (2012)
  • 著者名/発表者名: S. Kiyohara, T. Ikegaki, I. Ishikawa, H. Tanoue, H. Takikawa, Y. Taguchi, Y. Sugiyama, Y. Omata, Y. Kurashima
  • 学会等名: 2012 Materials Research Society Fall Meeting
  • 発表場所: Hynes Covention Center and Sheraton Boston Hotel
  • 年月日: 2012-11-26
• [学会発表] Nanofabrication of DLC-dot Arrays by Room-temperature Curing Imprint-liftoff Method (2012)
  • 著者名/発表者名: S. Kiyohara, S. Matta, I. Ishikawa, H. Tanoue, H. Takikawa, Y. Taguchi, Y. Sugiyama, Y. Omata, Y. Kurashima
  • 学会等名: 2012 Materials Research Society Fall Meeting
  • 発表場所: Hynes Covention Center and Sheraton Boston Hotel
  • 年月日: 2012-11-26
• [学会発表] Fabrication of Micro-OLEDs by Room-temperature Curing Contact-imprint Using DLC Molds (2012)
  • 著者名/発表者名: I. Ishikawa, K. Sakurai, S. Kiyohara, C. Ito, H. Tanoue, Y. Suda, H. Takikawa, Y. Taguchi, Y. Sugiyama, Y. Omata, Y. Kurashima
  • 学会等名: 2012 Materials Research Society Fall Meeting
  • 発表場所: Hynes Covention Center and Sheraton Boston Hotel
  • 年月日: 2012-11-26
• [学会発表] グラフェンデバイス作製を目指したインプリントリソグラフィ法による超微細構造薄膜の形成 (2012)
  • 著者名/発表者名: 辻賢介,石川一平,清原修二,須田善行,田口佳男,杉山嘉也,小俣有紀子,倉島優一
  • 学会等名: 日本高専学会第18回年会
  • 発表場所: 近畿大学工業高等専門学校
  • 年月日: 2012-08-25
• [学会発表] 室温硬化ナノインプリントによるポリジメチルシロキサン酸化マスクパターンの形成 (2012)
  • 著者名/発表者名: 池垣斗夢,清原修二,石川一平,滝川浩史,田口佳男,杉山嘉也,小俣有紀子,倉島優一
  • 学会等名: 2012年度精密工学会関西地方定期学術講演会
  • 発表場所: 立命館大学びわこ・くさつキャンパス
  • 年月日: 2012-06-15
• [学会発表] 室温硬化ナノインプリント-リフトオフ法によるDLCナノエミッタの開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 松田将平,清原修二,石川一平,滝川浩史,田口佳男,杉山嘉也,小俣有紀子,倉島優一
  • 学会等名: 2012年度精密工学会関西地方定期学術講演会
  • 発表場所: 立命館大学びわこ・くさつキャンパス
  • 年月日: 2012-06-15
• [学会発表] 室温硬化インプリントによる医療MEMS用DLCマイクロギアの作製 (2012)
  • 著者名/発表者名: 伊藤茅,石川一平,清原修二,滝川浩史,田口佳男,杉山嘉也,小俣有紀子,倉島優一
  • 学会等名: 2012年度精密工学会関西地方定期学術講演会
  • 発表場所: 立命館大学びわこ・くさつキャンパス
  • 年月日: 2012-06-15
• [学会発表] 室温硬化ナノインプリントによる医療マイクロマシン用ダイヤモンドキアの作製 (2012)
  • 著者名/発表者名: 伊藤茅,清原修二,石川一平,滝川浩史,田口佳男,杉山嘉也,小俣有紀子,倉島優一
  • 学会等名: ナノ学会第10回大会
  • 発表場所: 大阪大学豊中キャンパス
  • 年月日: 2012-06-14
• [学会発表] 室温硬化ナノインプリントリソグラフィ法による微細OLEDの作製 (2012)
  • 著者名/発表者名: 奥野泰佑,石川一平,清原修二,田口佳男,杉山嘉也,小俣有紀子,須田善行,倉島優一
  • 学会等名: ナノ学会第10回大会
  • 発表場所: 大阪大学豊中キャンパス
  • 年月日: 2012-06-14
• [学会発表] 室温硬化ナノインプリントリソグラフィによるPDMS酸化マスクパターンの形成 (2012)
  • 著者名/発表者名: 松田将平,清原修二,石川一平,田口佳男,杉山嘉也,小俣有紀子,倉島優一
  • 学会等名: ナノ学会第10回大会
  • 発表場所: 大阪大学豊中キャンパス
  • 年月日: 2012-06-14
• [学会発表] 室温硬化ナノインプリント-リフトオフ法によるアルミニウムマスクパターンの形成 (2012)
  • 著者名/発表者名: 池垣斗夢,清原修二,石川一平,田口佳男,杉山嘉也,小俣有紀子,滝川浩史,倉島優一
  • 学会等名: ナノ学会第10回大会
  • 発表場所: 大阪大学豊中キャンパス
  • 年月日: 2012-06-14
• [学会発表] Fabrication of Diamond Nanopit Arrays by Room-temperature Curing Nanoimprint Lithography Using Glass-like Carbon Molds (2011)
  • 著者名/発表者名: S. Kiyohara, C. Ito, I. Ishikawa, H. Takikawa, Y. Taguchi, Y. Sugiyama, Y. Omata and Y. Kurashima
  • 学会等名: 2011 Materials Research Society Fall Meeting ABSTRACTS
  • 発表場所: Hynes Covention Center and Sheraton Boston Hotel, Boston, Massachusetts, USA(p.N12-2)
  • 年月日: 2011-11-30
• [学会発表] Micro-Organic Light-Emitting Devices Fabricated by Room-Temperature Curing Nanoimprint Lithography Using Diamond Molds (2011)
  • 著者名/発表者名: I. Ishikawa, T. Okuno, S. Kiyohara, Y. Taguchi, Y. Sugiyama, Y. Omata and Y. Kurashima
  • 学会等名: 2011 Materials Research Society Fall Meeting ABSTRACTS
  • 発表場所: Hynes Covention Center and Sheraton Boston Hotel, Boston, Massachusetts, USA(p.N12-4)
  • 年月日: 2011-11-30
• [学会発表] Patterning of Tetrahedral Amorphous Carbon Film by Electron Beam Lithography (2011)
  • 著者名/発表者名: T. Kashiwagi, H. Okuda, H. Tanoue, Y. Suda, H. Takikawa, M. Kamiya, S. Kiyohara, T. Kawashima, T. Shibata, Y. Taguchi, Y. Sugiyama, Y. Omata, M. Taki, Y. Hasegawa, N. Tsuji and T. Ishikawa
  • 学会等名: The Asia-Pacific Interdisciplinary Research Conference 2011
  • 発表場所: Toyohashi University of Technology,Toyohashi, Aichi, Japan(18PP-70)( p.172)
  • 年月日: 2011-11-18
• [学会発表] フィルタードアーク蒸着で形成したDLC膜の酸素イオンエッチング (2011)
  • 著者名/発表者名: 柏木大幸,奥田浩史,角口公章,田上英人,須田善行,滝川浩史,神谷雅男,瀧真,長谷川祐史,辻信広,石川剛史,清原修二
  • 学会等名: 平成23年度電気関係学会東海支部連合大会, 電気関係学会東海支部連合大会
  • 発表場所: 三重大学(p.O1-1)
  • 年月日: 2011-09-26
• [学会発表] ガラス状炭素モールド室温硬化インプリントによるダイヤモンドナノピットパターン形成 (2011)
  • 著者名/発表者名: 伊藤茅,石川一平,清原修二,田口佳男,杉山嘉也,小俣有紀子,倉島優一,滝川浩史
  • 学会等名: 2011年度精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集, 精密工学会
  • 発表場所: 兵庫県立大学姫路書写キャンパス(pp.56-57)
  • 年月日: 2011-06-30
• [備考]
  • URL: http://www.maizuru-ct.ac.jp/control/kiyohara/index.html