| 研究課題/領域番号 |
23560147
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| 研究機関 | 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工 |
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研究代表者 |
由井 明紀 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工, システム工学群, 教授 (70532000)
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| 研究分担者 |
北嶋 孝之 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工, その他部局等, 助教 (50546174)
岡畑 豪 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工, その他部局等, 助教 (80546169)
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| キーワード | 国際情報交換 |
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| 研究概要 |
試作した砥石スピンドルが正常に動作しなかったたため、その調整を行った。
１）電気マイクロを用いて位置決め精度を確認した。本システムはナノメータオーダの位置決め能力を有しているため、微細位置決め精度の測定方法を検討した。1～2mmのストロークでナノメータオーダの位置決め精度を測定する簡便な装置は実用化さていないことがわかた。
２）試作スピンドルシステムは室温の影響を受けるので、室温・湿度変化等設置環境について測定を行った。
３）本システムの構造をわかりやすく説明するための簡単なスピンドルモデルを試作して「切り込み機構内蔵水静圧砥石スピンドル」の設計・組立調整における問題点を明らかにした。
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
3: やや遅れている
理由
１）「切り込み機構内蔵水静圧砥石スピンドル」の設計・組立を完了した。
２）開発したスピンドルシステムを立て軸ロータリー研削盤に搭載し、防衛大学校の高温実験室に設置した。
３）試し研削を行い，シリコンウエハの研削加工が出来ることを確認した。
４）基本性能を測定するための準備を行い，設置環境（温度・湿度変化）の測定を行った。
５）本システムの構造をわかりやすく説明するための簡単なスピンドルモデルを試作した。
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| 今後の研究の推進方策 |
１）砥石スピンドルの静的位置決め精度の測定用測定装置の開発。ミクロンオーダの位置決め精度測定は可能であるが、ナノメータオーダーの位置決め精度の測定は困難である。すなわち、本システムの位置決め精度を簡便に測定できる計測器は市販されていないため試作する。試作した装置でナノメータオーダの位置決め精度測定を試みる。
２）砥石スピンドルの静的・動的剛性の測定。
３）砥石スピンドルの回転精度の測定。
４）今までの成果の学会発表。
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| 次年度の研究費の使用計画 |
本年度が最終年度であるため、直接経費を確認の上、全額を使用する計画である。
１）スピンドル・ロータリー研削盤の賃借・保守料の支払い。
２）国際会議参加費および研究調査旅費。
３）位置決め精度測定用のレーザースケールの購入。
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