| 研究課題/領域番号 |
23560147
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工 |
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研究代表者 |
由井 明紀 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工, その他部局等, 教授 (70532000)
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| 研究分担者 |
北嶋 孝之 防衛大学校, システム工学群, 講師 (50546174)
岡畑 豪 防衛大学校, システム工学群, 助教 (80546169)
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| 研究期間 (年度) |
2011 – 2013
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| キーワード | 静圧軸受 / リニアアクチュエータ / 大口径シリコンウエハ / 研削盤 / 静電容量式センサ |
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| 研究概要 |
切込み機構内蔵水静圧砥石スピンドルを試作した．切込み方向の位置は，静電容量式センサでモニタし，磁気アクチュエータにフィードバックする．静圧軸受の作動媒体には水を用いることにより，環境対応型システムとした．試作スピンドルの回転精度は0.23μm，スラスト方向の静剛性1060N/μmを実現した．試作したスピンドルを立軸ロータリー研削盤に搭載し，#3000のダイヤモンド砥石で450mmシリコンウエハ研削を行い，2nmRaの面粗さを実現した．
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