研究課題
基盤研究(C)
本研究では,ミリメートルオーダーのストロークを有する,高速・高精度な3自由度制御型磁気駆動アクチュエータの構成と駆動原理を検討し,大ストロークを実現する可能な磁気軸受を設計した.また,高速,高精度な位置決め・軌跡制御を実現する可能な,アクチュエータの制御系・電気系を検討し,その性能評価を行った.試作した磁気浮上アクチュエータは,1.0μm以下の位置決め分解能,2mmのフルストロークを実現した.また,スラスト方向には100Hz以上のバンド幅,ラジアル方向には50Hz程度のバンド幅を有した.また,試作アクチュエータを従来放電加工機に取り付け,放電加工システムを構築した.
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Applied Mechanics and Materials(Trans Tech Publications)
巻: Vols. 423-426 ページ: 2821-2824
Advanced Materials Research(Trans Tech Publications)
巻: vol.591 ページ: 303-306