シリコン系酸化物潤滑剤コーティング

2013 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 23560176
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 設計工学・機械機能要素・トライボロジー
• 研究機関: 独立行政法人物質・材料研究機構
• 研究代表者: 土佐 正弘 独立行政法人物質・材料研究機構, 先進高温材料ユニット, グループリーダー (20343832)
• 研究期間 (年度): 2011 – 2013
• キーワード: トライボロジー / 固体潤滑 / スパッタコーティング / 真空 / 表面分析

研究概要

シリコン系酸化物をはじめとする酸化物の化学組成や化学量論比を調整できるコーティングシステム、および、大気気雰囲気から真空中まで、また、室温から高温まで、摩擦試験環境を大きく可変できるトライボロジー評価装置をそれぞれ設計・試作して研究基盤を確立するとともに、化学組成や量論比を変えながらコーティング膜を高品質で作成し、さらに、雰囲気依存摩擦係数、表面化学組成、化学結合状態、および、結晶構造についてそれぞれ測定検討し、その結果、酸化物潤滑剤コーティングの化学量論比が摩擦係数に及ぼすコーティングプロセス時における雰囲気スパッタ全圧や酸素分圧等重要な基本的知見を得ることができた。

研究成果

• [雑誌論文] MoS2 Sputtering Coating for Ultrahigh vacuum manipulation (2013)
  • 著者名/発表者名: T,Maruyama, J,Nakagawa, K.Endo, A.Kasahara M.Goto and M.Tosa
  • 雑誌名: J. Physics, Conference Series 巻: 012048 ページ: 417
  • 査読あり
• [雑誌論文] 極限環境トライボロジーコーティング (2013)
  • 著者名/発表者名: 佐々木道子、土佐正弘、後藤真宏、笠原章
  • 雑誌名: セラミックス 巻: 48 ページ: 736
• [雑誌論文] Reduction of Friction by Light (2012)
  • 著者名/発表者名: M.Goto, M.Sasaki, A.Kasahara and M.Tosa
  • 雑誌名: Applied Physics Express 巻: 6 ページ: 0472021
  • 査読あり
• [雑誌論文] ハードコーティング用セラミック材料の開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 佐々木道子、土佐正弘、後藤真宏、笠原章
  • 雑誌名: 応用物理 巻: 81 ページ: 769
• [雑誌論文] Low Friction Coating of Zinc Oxide Synthesized by Optimization of Crystal Preffered Orientaion (2011)
  • 著者名/発表者名: M.Goto, M.Sasaki, A.Kasahara and M.Tosa
  • 雑誌名: Tribology Letters 巻: 43 ページ: 155
  • 査読あり
• [学会発表] Supra-lubrication of Zinc Oxide Coatings (2014)
  • 著者名/発表者名: M.Tosa, M.Sasaki, M.Goto and A.Kasahara
  • 学会等名: CIMTEC 2014
  • 発表場所: Palazzo dei Congressi,Montecatini Terme, Italy
  • 年月日: 2014-06-12
  • 招待講演
• [学会発表] 低摩擦酸化物トライボコーティング (2014)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘、佐々木道子、後藤真宏、笠原章
  • 学会等名: 日本材料科学会
  • 発表場所: 工学院大学
  • 年月日: 2014-06-06
• [学会発表] 酸化物系潤滑コーティングの創製 (2013)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘、佐々木道子、後藤真宏、笠原章
  • 学会等名: 岩手表面技術談話会第29回表面技術セミナー
  • 発表場所: 岩手大学
  • 年月日: 2013-11-29
  • 招待講演
• [学会発表] 高温トライボロジー材料の開発 (2013)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘、佐々木道子、本田博史、鈴木裕、後藤真宏、笠原章
  • 学会等名: 2013年真空・表面科学合同講演会
  • 発表場所: つくば国際会議場
  • 年月日: 2013-11-27
• [学会発表] Molybdenum Disulfide Coatings for Vacuum Lubrication (2013)
  • 著者名/発表者名: M.Tosa, M.Sasaki, M.Goto and A.Kasahara
  • 学会等名: 19th International Vacuum Congress, Paris Internatl
  • 発表場所: Congress Center, Paris, France
  • 年月日: 2013-09-12
• [学会発表] 真空中の摩擦を低減するコーティングの開発 (2013)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘、佐々木道子、後藤真宏、笠原章、丸山敏征、中川潤、遠藤克己
  • 学会等名: 日本材料科学会
  • 発表場所: 工学院大学
  • 年月日: 2013-06-08
• [学会発表] 酸化物系潤滑コーティングの開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘、佐々木道子、後藤真宏、笠原章
  • 学会等名: 日本真空学会産学連携院回例会セミナー
  • 発表場所: 機械振興会館
  • 年月日: 2012-12-12
  • 招待講演
• [学会発表] Advanced Solid Luburicative coating (2012)
  • 著者名/発表者名: M.Tosa, M.Sasaki, M.Goto and A.Kasahara
  • 学会等名: 5th Tsukuba International Coating Symposium 2012
  • 発表場所: AIST
  • 年月日: 2012-11-29
  • 招待講演
• [学会発表] 酸化亜鉛コーティングの摩擦特性 (2012)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘、佐々木道子、後藤真宏、笠原章
  • 学会等名: 表面科学会
  • 発表場所: 東北大学
  • 年月日: 2012-11-22
  • 招待講演
• [学会発表] 表面析出現象を利用した材料開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘、佐々木道子、本田博史、鈴木裕、後藤真宏、笠原章
  • 学会等名: 日本真空学会
  • 発表場所: 甲南大学、神戸
  • 年月日: 2012-11-14
• [図書] 真空ポンプと排気曲線とベーキング、問題と解説で学ぶ表面科学6 (2013)
  • 著者名/発表者名: 土佐正弘
  • 出版者: 現代表面科学シリーズ
• [備考]
  • URL: http://www.nims.go.jp/group/g_tribology/index.html
• [産業財産権] 結晶配向が位置により変化する表面領域を形成する方法、摩擦係数最適化方法、及び表面結晶配向の制御方法 (2013)
  • 発明者名: 後藤真宏、佐々木道子、笠原章、土佐正弘
  • 権利者名: 物質・材料研究機構
  • 産業財産権種類: 特許
  • 産業財産権番号: 2013-083027
  • 出願年月日: 2013-04-11
  • 外国
• [産業財産権] スパッタガン (2012)
  • 発明者名: 後藤真宏、笠原章、土佐正弘
  • 権利者名: 物質・材料研究機構
  • 産業財産権種類: 特許
  • 産業財産権番号: 2011-248866
  • 出願年月日: 2012-11-12
  • 外国
• [産業財産権] 真空超高速シャッター (2011)
  • 発明者名: 後藤真宏、笠原章、土佐正弘
  • 権利者名: 物質・材料研究機構
  • 産業財産権種類: 特許
  • 産業財産権番号: 2011-258444
  • 出願年月日: 2011-11-28
  • 外国
• [産業財産権] スパッタガン (2011)
  • 発明者名: 後藤真宏、笠原章、土佐正弘
  • 権利者名: 物質・材料研究機構
  • 産業財産権種類: 特許
  • 産業財産権番号: 2011-258456
  • 出願年月日: 2011-11-28
  • 外国
• [産業財産権] 摩擦摩耗測定用試料加熱装置 (2011)
  • 発明者名: 後藤真宏、笠原章、土佐正弘
  • 権利者名: 物質・材料研究機構
  • 産業財産権種類: 特許
  • 産業財産権番号: 2011-223559
  • 出願年月日: 2011-10-11
  • 外国
• [産業財産権] 低摩擦ZnOコーティングおよびその作製方法 (2011)
  • 発明者名: 後藤真宏、笠原章、土佐正弘
  • 権利者名: 物質・材料研究機構
  • 産業財産権種類: 特許
  • 産業財産権番号: 2012-534981
  • 出願年月日: 2011-09-02
  • 外国