熱アシストＵＶインプリントプロセスにおける熱流体挙動のデジタルホログラム計測

2013 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 23560243
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 熱工学
• 研究機関: 東京理科大学
• 研究代表者: 佐竹 信一 東京理科大学, 基礎工学部, 教授 (90286667)
• 研究期間 (年度): 2011 – 2013
• キーワード: 流体計測 / ホログラム / インプリント / 光硬化樹脂

研究概要

熱アシストUV-NIL のプレス工程の間でのUV 硬化樹脂層の薄膜における高解像度4次元樹脂流動計測を行う為に、マイクロDHPTV 法を用いた。UV-NILのプレス工程や流動中にUV 硬化樹脂の厚さが減少したとき、その厚みの内部の速度分布を計測した。その結果、ナノインプリントモールド上のUV-NILプレス工程で、基板温度が変化した場合のモールド基板近くの樹脂の流れに影響を考察した。温度に依存する内部速度分布が得られた。

研究成果

• [雑誌論文] ナノインプリント圧着過程中のUV硬化性樹脂流動に対する基板温度の影響 (2014)
  • 著者名/発表者名: 浅野元晴,海野徳幸,佐竹信一,谷口淳
  • 雑誌名: 第51回日本伝熱シンポジウム講演論文集
• [雑誌論文] Flow distribution measurements of a thin resin layer at UV-NIL process by using digital-holographic-PTV (2013)
  • 著者名/発表者名: Noriyuki Unno, Shin-ichi Satake and Jun Taniguchi
  • 雑誌名: Proc. of the 39th International Conference on Micro and Nano Engineering ページ: 528
• [雑誌論文] ナノインプリント圧着過程におけるUV硬化性樹脂の4次元流動計測 (2013)
  • 著者名/発表者名: 海野徳幸,筒田剛,佐竹信一,谷口淳
  • 雑誌名: 第50回日本伝熱シンポジウム講演論文集 巻: vol.II+III ページ: 346-347
• [雑誌論文] Three-dimensional measurements of UV-imprint process by micro-digital holographic-PTV (2012)
  • 著者名/発表者名: S. Satake, J. Taniguchi, T. Kanai, N. Unno
  • 雑誌名: Microelectron. Eng. 巻: 97 ページ: 51-54
• [雑誌論文] マイクロデジタルホログラフィックPTVによるUVインプリントプロセスの計測 (2011)
  • 著者名/発表者名: 佐竹信一,谷口淳,金井高弘,海野徳幸
  • 雑誌名: 日本機械学会熱工学コンファレンス2011講演論文集 巻: 29-30 ページ: 345-346
• [学会発表] ナノインプリント圧着過程中のUV硬化性樹脂流動に対する基板温度の影響 (2014)
  • 著者名/発表者名: 浅野元晴,海野徳幸,佐竹信一,谷口淳
  • 学会等名: 第51回日本伝熱シンポジウム2014
  • 発表場所: アクトシティ浜松・コングレスセンター、浜松
  • 年月日: 20140521-23
• [学会発表] Flow distribution measurements of a thin resin layer at UV-NIL process by using digital-holographic-PTV (2013)
  • 著者名/発表者名: Noriyuki Unno, Shin-ichi Satake and Jun Taniguchi
  • 学会等名: Proc. of the 39th International Conference on Micro and Nano Engineering
  • 発表場所: London, UK
  • 年月日: 20130916-19
• [学会発表] ナノインプリント圧着過程におけるUV硬化性樹脂の4次元流動計測 (2013)
  • 著者名/発表者名: 海野徳幸,筒田剛,佐竹信一,谷口淳
  • 学会等名: 第50回日本伝熱シンポジウム2013
  • 発表場所: ウェスティンホテル仙台および仙台トラストシティ,仙台
  • 年月日: 20130529-31
• [学会発表] マイクロデジタルホログラフィックPTVによるUVインプリントプロセスの計測 (2011)
  • 著者名/発表者名: 佐竹信一,谷口淳,金井高弘,海野徳幸
  • 学会等名: 日本機械学会熱工学コンファレンス2011
  • 発表場所: 静岡大学、浜松
  • 年月日: 20111029-30